介质材料介电性能探针谐振法测试技术研究.pdfVIP

摘要

介质材料是指在电场作用下能在其中建立极化作用的物质，是电磁波传播的

重要媒质。介质材料在电子行业有着广泛的研究以及应用。介质材料的微波性能及

均匀性是检验介质材料是否合格的重要指标，若其未达到指标要求，不仅会严重影

响相关器件的设计，更会给整个系统性能带来无法忽视的破坏。这些因素不仅对介

质材料的制造提出严苛的要求，同时也对介质材料性能测试提出了更高的要求。

目前针对介质材料微波性能测试的测试系统众多，这些测试系统结构鲜明、各

有优劣，但是它们都有着类似的短板—对待测材料的形状有一定要求，且测试的区

域都相对较大，主要用于介质材料整体介电性能的测试，对被测介质材料的二维平

面形状有一定要求。

但是随着电子行业的不断发展，研究人员不再仅仅满足于了解介质材料整体

的介电性能，而是想进一步了解介质材料介电性能的分布情况，这就对测试提出了

更高的要求。针对材料微区域测试，典型的便是基于近场微波显微镜技术设计的探

针，这种结构的分辨率可以达到几十微米量级，甚至可以对纳米级的薄膜进行测试。

但是基于近场微波显微镜技术的测试系统短板同样明显：大多用于单频点测试，且

品质因数较低。

针对上述问题，本文主要从三个方面：理论研究、测试传感器设计和测试系统

集成，开展介质材料微区域介电性能测试技术研究，最终设计了一种微区域测试传

感器，并集成一套介质材料介电性能探针谐振法测试系统。该测试系统可以用于1-

10GHz测试，测试区域最大直径小于2mm，与常规测试系统相比，该测试系统测

试区域更小；与近场微波显微镜测试系统相比，品质因数更高且能进行宽频带测试。

关键词：开路同轴腔，共面波导，介电性能测试，微扰法

ABSTRACT

Dielectricmaterialreferstothematerialthatcanestablishpolarizationunderthe

actionofelectricfield,whichisanimportantmediumforelectromagneticwave

propagation.Dielectricmaterialshavebeenwidelystudiedandappliedintheelectronic

industry.Themicrowaveperformanceanduniformityofthedielectricmaterialisan

importantindextotestwhetherthedielectricmaterialisqualifiedornot.Ifitdoesnot

meettheindexrequirements,itwillnotonlyseriouslyaffectthedesignofrelateddevices,

butalsobringunnegligibledamagetotheperformanceoftheentiresystem.Thesefactors

notonlyputforwardstrictrequirementsforthemanufactureofdielectricmaterials,but

alsoputforwardhigherrequirementsfortheperformancetestofdielectricmaterials.

Atpresent,therearemanytestsystemsforthemicrowaveperformancetestof

dielectricmaterials.Thesetestsystemshavedistinctstructuresandeachhasitsown

advantagesanddisadvantages,buttheyallhavesimilarshortboards-thetestareasare

relativelylarge,mainlyusedforthe