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测控技术

·422025年第44卷第4期试验与测试

瞬态K型热电偶探针的研制

帅浩然，代云瑜，蒋洪川

（电子科技大学电子薄膜与集成器件全国重点实验室，四川成都611731)

摘要：设计并制备了一种用于测试瞬态温度的型热电偶探针。采用70厚度的金属热

KμmNiCr/NiSi

电偶薄带作为敏感材料，使用反应磁控溅射技术和原子层沉积技术在薄带表面沉积总厚度约为700nm

的Al,0，绝缘薄膜，并将两合金薄带重叠在一起与直径为0.02mm的同质热偶丝连接，用楔形陶瓷片夹

住两合金薄带，与金属外壳以紧配合的方式共同装配为具有一定结构强度的瞬态K型热电偶探针。采

用高温静态标定法和短脉冲激光法对热电偶探针的热电性能和动态特性进行了测试。结果表明，该热

电偶探针的输出热电势稳定，与温度之间有良好的线性关系，平均塞贝克系数为42μV/℃，测温上限达

到1200℃；在热电偶性能下降时，通过打磨热端结点生成新的结点能恢复其性能，可实现重复使用；平

均响应时间为0.264ms，且受到外界条件影响较小，具有良好的重复性

关键词：热电偶探针；塞贝克系数；响应时间；瞬态温度

中图分类号：TP212.9文献标志码：A文章编号：1000-8829(2025)04-0042-07

doi:10.19708/j.ckjs.2025.01.204

DevelopmentofTransientK-TypeThermocoupleProbes

SHUAIHaoran,DAIYunyu,JIANGHongchuan

(StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices,UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,

Chengdu611731,China)

Abstract:AK-typethermocoupleprobefortestingtransienttemperatureisdesignedandprepared.ANiCr/Ni-

Simetalthermocouplewiththicknessof70μmisusedasthesensitivematerial.Atotalthicknessofabout700

nmofAl,O,insulationfilmisdepositedonthesurfaceofthestripsusingreactivemagnetronsputteringanda-

tomiclayerdepositiontechniques.Twoalloythinstripsareoverlappedandconnectedtoahomogeneousther-

mocouplewirewithadiameterof0.02mm.Thetwoalloythinstripsareclampedwithwedge-shapedceramic

platesandassembledtogetherwiththemetaloutershellinatightfittoforma