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溅射的基本原理——溅射机理（2）线性碰撞级联溅射初始反冲原子得到的能量比较高，它可以进一步地与其它静止原子相碰撞，产生一系列新的级联运动。但级联运动的密度比较低，以至于运动原子同静止原子之间的碰撞是主要的，而运动原子之间的碰撞是次要的。对于线性碰撞级联，入射离子的能量范围一般在keV-MeV。线性碰撞级联溅射示意图第62页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理第63页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理（3）热钉扎溅射反冲原子的密度非常高，以至于在一定的区域内大部分原子都在运动。热钉扎溅射通常是由中等能量的重离子轰击固体表面而造成的。热钉扎线性碰撞级联溅射示意图第64页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理入射离子的能量损失可以分为两部分：一部分用于靶原子核的反冲运动，另一部分用于激发或电离靶原子核外的电子，分别对应于核阻止本领和电子阻止本领。对于低能离子，核阻止本领是主要的，而对于高能离子，电子阻止本领则是主要的。第65页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理离子注入：如果入射离子的速度方向与固体表面的夹角大于某一临界角，它将能够进入固体表面层，与固体中的原子发生一系列的弹性和非弹性碰撞，并不断地损失其能量。当入射离子的能量损失到某一定的值（约为20eV左右)时，将停止在固体中不再运动。上述过程被称为离子注入过程。IonEatoms第66页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理溅射现象：当级联运动的原子运动到固体表面时，如果其能量大于表面的势垒，它将克服表面的束缚而飞出表面层，这就是溅射现象。溅射出来的粒子除了是原子外，也可以是原子团。第67页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理入射离子（E0）原子溅射原子二次电子第68页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理离子与靶相互作用?按参与碰撞粒子的种类划分：入射离子（或载能原子）?静止靶原子的碰撞反冲原子?静止靶原子的碰撞?按能量损失的方式划分：弹性碰撞非弹性碰撞第69页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理双体弹性模型：通常在两种坐标系中研究碰撞二体问题：1）实验坐标系（实验测量）2）质心坐标系（理论研究）实验坐标系入射粒子（粒子、反冲原子）：靶原子（静止）：第70页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理散射角反冲角第71页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理可以得到：散射原子的能量反冲原子的能量其中第72页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理当（对头碰撞）或时，有：第73页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理当时，有电子不能产生溅射。当时，有第74页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射的基本原理——溅射机理根据能量转移关系，可以得出溅射产额正比于核阻止截面。式中，是核阻止截面，入射离子能量，是原子相互作用屏蔽半径，是表面势能。第75页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射镀膜的类型——二级直流溅射★二级直流溅射系统结构基片第76页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅射镀膜的类型——二级直流溅射特点：结构简单，可以获得大面积均匀薄膜。控制参数：功率、电压、压力、电极间距等。缺点溅射参数不易独立控制，放电电流随电压和气压变化，工艺重复性差；真空系统多采用扩散泵，残留气体对膜层污染较严重，纯度较差；基片温度升高，淀积速率低；靶材必须是良导体。第77页，共112页，星期日，2025年，2月5日溅