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铟锌氧化物薄膜晶体管与高功函数TCO薄膜：特性、制备及应用进展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子技术飞速发展的背景下，薄膜晶体管（ThinFilmTransistor，TFT）和透明导电氧化物（TransparentConductiveOxide，TCO）薄膜作为关键材料，在众多电子领域中扮演着不可或缺的角色。薄膜晶体管是构成各类平板显示器、集成电路以及传感器等电子器件的核心元件，其性能直接影响着这些器件的分辨率、响应速度、功耗以及稳定性等关键指标。而TCO薄膜则凭借其独特的高可见光透射率和低电阻率特性，广泛应用于太阳能电池、平板显示器、有机发光二极管等光电器件中，成为