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第一电子光学基础第1页，共24页。优选第一电子光学基础第2页，共24页。dl物透镜像与光学透镜的成像原理相似，电磁透镜的物距（d）、像距（l）和焦距（f）三者之间也满足以下关系式：放大倍数M与三者之间的关系为：第3页，共24页。电磁透镜的焦距f可由下式求得K－常数；Ur－经相对论校正的电子加速电压；I－通过线圈的电流强度；N－线圈每厘米长度上的圈数.从上式可看出，无论激磁方向如何，电磁透镜的焦距总是正的。改变激磁电流，电磁透镜的焦距和放大倍数将发生相应变化。因此，电磁透镜是一种变焦距或变倍率的会聚透镜，这是它有别于光学玻璃凸透镜的一个特点。第4页，共24页。项目电子显微镜光学显微镜射线源电子束可见光波长0.0589?(20kV)~0.00687?(1MV)7600?(可见光)~2000?(紫外线)介质真空大气透镜电磁透镜玻璃透镜孔径角~几度~70o分辨本领点分辨率1-3?，线分辨率0.5-2?2000?(可见光),1000?(紫外线)放大倍数几十倍~数百万倍数倍~2000倍聚焦方式电磁控制、电子计算机控制机械操作衬度质厚、衍射、相位、Z－衬度吸收、反射衬度电子显微镜和光学显微镜的比较第5页，共24页。二电子波的波长电子波的波长取决于电子的运动速度和质量:υ—电子速度，它和加速电压U之间存在下面的关系。h－普朗克常数，m－电子的质量，m0＝（∵）第6页，共24页。加速电压/kV100120200300400电子波长/?0.0370.03350.02510.01970.0164常用TEM的电子波长与加速电压的关系：其中∴第7页，共24页。三电磁透镜电子是带负电的粒子，在静电场中会受到电场力的作用，使运动方向发生偏转，设计静电场的大小和形状可实现电子的聚焦和发散。由静电场制成的透镜称为静电透镜，在电子显微镜中，发射电子的电子枪就是利用静电透镜。运动的电子在磁场中也会受磁场力的作用产生偏折，从而达到会聚和发散，由磁场制成的透镜称为磁透镜。用通电线圈产生的磁场来使电子波聚焦成像的装置叫电磁透镜。第8页，共24页。电磁透镜和静电透镜相比有如下的优点电磁透镜静电透镜1.改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大率；2.无击穿，供给电磁透镜线圈的电压为60到100伏；3.像差小。1.需改变加速电压才可改变焦距和放大率；2.静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿；3.像差较大。目前，应用较多的是磁透镜，我们只分析磁透镜是如何工作的。第9页，共24页。Vvtvr第10页，共24页。一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜将被聚焦在轴线上一点，即焦点F类比光学玻璃凸透镜第11页，共24页。有极靴的透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到几个mm。在此小的区域内，磁场强度得到加强。有极靴Bz没有极靴无铁壳zh第12页，共24页。四电磁透镜的像差及对分辨率的影响电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的像差有几何像差（球差、像散等）和色差。4.1、像差几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的；色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。第13页，共24页。球差离开透镜主轴较远的电子(远轴电子)比主轴附近的电子(近轴电子)被折射程度要大。当物点P通过透镜成像时，电子就不会会聚到同一焦点上，从而形成了一个散焦斑.球差是由于电磁透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。第14页，共24页。散焦斑的半径RS可以表示为：散焦斑的半径在原来的物平面的折算值可以表示成：上面的公式中，M为放大倍数；Cs为球差系数；α为孔径半角；由上面的式子可以看出，为了减少由于球差的存在而引起的散焦斑，可以通过减小球差系数和缩小成像时的孔径半角来实现。对于目前普通的电镜来说，其物镜的焦距一般在2~4mm，球差系数最小可以做到0.5mm，一般电镜的为1.2mm；一般来说，球差系数随电磁透镜的励磁电流增大而减小，所以现在的高分辨电镜的物镜都是强励磁低放大倍数的透镜。第15页，共24页。像差是由透镜磁场的非旋转对称而引起的。、像散这种非旋转对称磁场会使它在不同方向上的聚焦能力出现差别,结果使成像物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点。平面B弱聚焦方向物P光轴△fA