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微透镜阵列几何特性测试方法标准化发展研究报告

StandardizationDevelopmentResearchReportonTestMethodsforGeometricCharacteristicsofMicrolensArrays

摘要

微透镜阵列作为现代光学系统的核心元件，在5G通信、3D视觉传感、激光加工、医疗设备和航空航天等领域发挥着日益重要的作用。随着微透镜阵列产业化进程的加速推进，不同制造工艺和测试方法的差异性导致了产品质量评价体系的不统一，严重制约了行业的健康发展。本报告系统分析了《光学和光子学微透镜阵列第4部分：几何特性测试方法》国家标准的立项背景、目的意义和技术内容，重点阐述了标准制定的必要性和紧迫性。报告详细介绍了标准适用范围和主要技术内容，包括微透镜俯仰和表面调制深度（矢高）、物理厚度、曲率半径、面形精度和表面粗糙度等关键几何特性的测试原理、测试系统和测试程序。通过建立统一的测试方法标准，将为微透镜阵列的研发、生产、检测和应用提供技术依据，促进产业链上下游的协同发展，提升我国在高端光学元件领域的核心竞争力。

关键词：微透镜阵列；几何特性；测试方法；标准化；光学元件；面形精度；曲率半径

Keywords:MicrolensArray;GeometricCharacteristics;TestMethods;Standardization;OpticalElements;SurfaceFormAccuracy;CurvatureRadius

正文

一、标准立项的目的与意义

微透镜阵列是一类具有特殊光学功能的重要光学元件，其独特的光束匀化、分束、阵列成像、阵列聚焦探测、激光耦合和探测器耦合等功能，使其在现代光学系统中占据不可替代的地位。与传统光学元件相比，微透镜阵列具有体积小、重量轻、造价低、易集成等显著优势，能够实现普通光学元件难以达到的微型化、阵列化、集成化、成像和波前转换等新颖功能。

从技术实现机理角度分析，微透镜阵列的功能多样性源于其特殊的结构设计。利用微透镜阵列的每一个通道进行独立聚焦，可以实现精确的光束分束功能；通过微透镜阵列中每个通道独立成像并实现图像拼接，可以达成大视场成像、三维成像等高级成像功能；借助微透镜阵列每个通道对波前进行分割后在像面重新合成的技术路径，可以实现波前调制、光束匀化等复杂光学处理功能；基于微透镜阵列每个通道独立工作的特性，可实现光的阵列化并行集成传输功能，大幅提升光通信系统的数据传输效率。

在工程应用层面，微透镜阵列展现出日益重要的应用价值和极为广阔的发展前景。在5G光纤通信系统中，高端光模块采用微透镜阵列实现多路并行传输功能，在显著减小体积与降低成本的同时，大幅提升了数据传输通量；在3D光学视觉传感模组中，采用微透镜阵列实现发射光场调制，裸眼3D显示屏、光场相机计算光学成像等创新产品利用微透镜实现阵列成像，推动了传统2D平面成像向高精度3D立体成像的技术跨越；在激光医疗美容手术刀、人眼像差测量设备、工业激光半导体准直泵浦、激光加工设备波前匀化系统、航空航天大气湍流像差自适应光学矫正、飞行器导引光学小型化设计、液晶显示背光源匀化照明、投影显示匀化照明系统等高端设备中，微透镜均扮演着关键光学元件的角色。

随着微透镜阵列应用领域的不断拓展，从事相关研究、开发、生产制造和应用的单位数量急剧增加，产业化呈现爆发式增长态势。在研究机构方面，包括中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国科学院光电技术研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、清华大学、浙江大学、复旦大学等顶尖科研院所和高校均设立了专门的研究团队；在开发及生产制造领域，珠海迈时、舜宇光学、瑞声科技、水晶光电、蓝特光学、高意科技、苏大维格、苏纳光电、鲲游光电等企业已形成规模化生产能力；在应用端，电科声光电公司、航天8358所、航天508所、华为、海信、旭创科技、汇顶科技、光迅科技等行业领军企业正大力推进微透镜阵列的产品化进程。此外，微透镜贸易业务也蓬勃发展，海纳光电、维尔克斯光电、长富科技、海创光电、上海矽安等企业积极开展国内外微透镜阵列产品的销售代理业务，标志着国内已经形成了较为完整的微透镜阵列产业链体系。

然而，随着微透镜阵列产业化程度的不断提高，不同研发及生产制造单位所采用的加工方法存在显著差异。目前市场上广泛使用的制造工艺包括光刻刻蚀法、超精密车削法、模压法、注塑法、纳米压印法、溶胶凝胶法等多种技术路线，各种方法各有优劣，导致不同厂家生产的微透镜阵列性能参数存在较大差异。在此背景下，如何科学、准确、统一地检测和评价微透镜阵列的产品质量，已成为行业亟待解决的关键问题。

微透镜阵列的几何特性是评价其产品质量的核心指标，具体包括微透镜的口径、矢高、曲率半