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公司掩膜版制造工岗位设备操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工岗位设备操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司掩膜版制造工岗位，涉及所有掩膜版制造设备的操作。规程旨在确保操作人员的人身安全和设备正常运行，预防事故发生。操作人员须严格遵守本规程，遵循设备操作规范，保证生产安全与效率。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员进入车间前，必须穿戴符合国家安全标准的防护服、防护眼镜、防尘口罩、防静电手套等防护用品。长发者需佩戴安全帽，并确保所有防护用品穿戴整齐，无破损。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备外观是否有损坏、松动或异常情况。

b.检查设备各部件是否清洁，无油污、灰尘等杂物。

c.检查设备电源线、电缆等是否完好无损，无裸露部分。

d.检查设备液压、气动系统是否正常，无泄漏现象。

e.检查设备安全装置是否齐全有效，如紧急停止按钮、防护罩等。

3.作业环境基本要求：

a.工作区域应保持整洁，无杂物堆积，确保通道畅通。

b.确保工作区域通风良好，无有害气体积聚。

c.作业环境温度、湿度应控制在设备正常运行的范围内。

d.定期检查并维护消防设施，确保其处于良好状态。

e.严禁在工作区域吸烟、使用明火，防止火灾事故发生。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动设备前，先进行设备预热，确保设备达到正常工作温度。

b.按照设备操作手册进行设备启动，先开启电源，然后依次启动各个工作单元。

c.检查设备各部分运行状态，确认无误后，开始进行生产作业。

d.作业过程中，严格遵循设备操作规程，不得随意更改参数。

e.作业结束后，先关闭设备，停止生产，然后进行设备清洁和维护。

2.特定操作技术规范：

a.在进行光刻操作时，必须确保环境清洁度达到100级以上。

b.调整设备参数时，需按照标准作业指导书执行，不得擅自更改。

c.操作过程中，应密切观察设备运行状态，一旦发现异常，立即停止操作。

3.异常情况处理程序：

a.发现设备故障，立即停止操作，并报告设备维护人员。

b.如遇紧急情况，迅速按下紧急停止按钮，确保人员和设备安全。

c.对设备故障进行初步判断，若能自行处理，则按照故障排除手册进行操作。

d.若无法自行处理，应及时联系专业人员，等待其到场维修。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常震动和噪音。

b.电机运行正常，无过热现象。

c.传动带、齿轮等传动部件无异常磨损或松动。

d.液压、气动系统压力稳定，无泄漏。

e.电气控制系统显示正常，无报警信号。

2.常见故障现象：

a.设备启动困难或无法启动。

b.运行过程中出现异常震动或噪音。

c.电机过热或出现异味。

d.传动部件磨损严重或出现异常磨损痕迹。

e.液压、气动系统压力异常或泄漏。

3.状态监控方法：

a.定期检查设备外观，观察是否有损坏或异常。

b.使用温度计、压力计等工具，检测设备关键部件的温度和压力。

c.监控电气控制系统，确保无异常报警信号。

d.定期对设备进行清洁和维护，防止灰尘和杂物影响设备运行。

e.记录设备运行数据，如运行时间、故障次数等，进行分析和趋势预测。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.测试设备精度，确保其符合工艺要求。

b.检查设备运行稳定性，观察是否存在周期性波动。

c.监测设备温度、压力等关键参数，确保在正常工作范围内。

d.测试设备电气控制系统响应速度和准确性。

e.检查设备润滑系统，确保润滑效果良好。

2.调整方法：

a.根据测试结果，对设备进行必要的参数调整，如速度、压力、温度等。

b.调整设备机械结构，如更换磨损部件、调整螺丝松紧度等。

c.调整电气控制系统，确保信号传输稳定和准确。

d.检查并优化设备润滑系统，确保润滑效果。

3.不同工况下的处理方案：

a.正常工况：保持设备正常运行，定期进行维护和检查。

b.异常工况：立即停止设备运行，分析原因并采取相应措施。

-设备过载：降低设备负荷，检查过载原因并排除。

-设备过热：检查冷却系统，确保冷却效果，必要时暂停生产。

-设备震动：检查设备固定情况，调整或更换固定件。

c.特殊工况：根据生产需求，调整设备参数以满足特殊工艺要求。

d.临时工况：针对临时出现的生产需求，快速调整设备，确保生产进度。

六、操作人员所处的位置和操作时的规范姿势

1.作业姿态：

a.操作者应保持身体直立，双脚自然分开，与肩同宽，以提供稳定的支