Vacuum technology inc 校准泄露质量压力表 calibrated leaks.docxVIP

VacuumTechnologyInc校准泄露质量压力表CalibratedLeaks

1.引言

真空系统中的精确测量与控制是确保工艺稳定性和产品质量的关键因素。VacuumTechnologyInc（VTI）作为真空技术领域的领先企业，其校准泄露质量压力表（CalibratedLeaks）在半导体制造、航空航天、医疗设备以及科研实验等高精度真空应用中发挥着不可替代的作用。校准泄露质量压力表通过提供已知、稳定且可重复的气体泄漏率，为真空系统的检漏、校准和性能验证提供了可靠的基准。

2.技术背景

2.1真空系统中的泄漏检测需求

在真空技术应用中，系统的密封性直接关系到工艺成败和产品良率。无论是半导体制造中的薄膜沉积工艺，还是航天器在太空环境中的性能测试，任何微小的泄漏都可能导致系统压力异常、工艺参数偏离甚至设备故障。因此，精确检测和量化真空系统中的泄漏量成为真空技术领域的核心挑战之一。

传统的泄漏检测方法，如气泡法、压力衰减法等，虽然操作简单，但存在灵敏度低、重复性差、无法精确定量等局限性。随着工业应用对真空环境要求的不断提高，这些传统方法已难以满足现代高精度真空系统的检测需求。在此背景下，基于校准泄露质量压力表的精密泄漏检测技术应运而生，为真空系统的泄漏量化提供了科学、可靠的解决方案。

2.2校准泄露质量压力表的工作原理

1.毛细管型校准泄漏器：利用气体通过细长毛细管的层流特性，在恒定压差下产生稳定的泄漏率。其泄漏率与毛细管的几何尺寸、气体种类及温度等因素密切相关。

2.多孔材料型校准泄漏器：通过控制气体通过多孔介质的渗透率来实现精确泄漏。多孔材料的孔径分布和孔隙率决定了泄漏率的大小和稳定性。

3.渗透型校准泄漏器：利用特定气体（如氦气）通过某些材料（如石英、玻璃）的渗透特性，在恒定温度下产生稳定的泄漏率。这种类型的泄漏器特别适用于超高真空系统的校准。

4.机械控制型校准泄漏器：通过精密机械结构（如微阀、压电陶瓷等）动态控制泄漏通道的开度，实现可调节的泄漏率输出。这种类型适用于需要多档位或连续调节泄漏率的应用场景。

3.产品规格与技术参数

3.1VTI校准泄露质量压力表系列概述

VacuumTechnologyInc提供全系列的校准泄露质量压力表产品，以满足不同应用场景和精度要求。根据泄漏率范围、气体兼容性和工作环境等关键因素，VTI产品线主要分为标准型、高精度型、便携式和特殊应用型四大类别。每个类别都经过严格的质量控制和性能验证，确保产品在实际应用中的可靠性和准确性。

便携式校准泄露质量压力表专为现场检测和移动应用设计，采用紧凑型结构和电池供电，重量控制在2kg以内，同时保持与固定式产品相当的测量精度。特殊应用型产品则根据客户特定需求定制，包括耐高温型、耐腐蚀型、多气体兼容型等，满足极端环境下的泄漏检测需求。

3.2关键技术参数

表1：VTI校准泄露质量压力表主要技术参数

|参数类别|标准型|高精度型|便携式|特殊应用型|

||||||

|泄漏率范围|10??~10??Pa·m3/s|10??~10?12Pa·m3/s|10??~10??Pa·m3/s|根据需求定制|

|精度|±2%|±0.5%|±1.5%|±1%~±5%|

|重复性|±1%|±0.3%|±1%|±0.5%~±2%|

|温度系数|±0.1%/°C|±0.03%/°C|±0.15%/°C|±0.05%~±0.2%/°C|

|工作温度|0~50°C|15~25°C|10~50°C|40~200°C|

|压力范围|0.1~1000kPa|0.01~100kPa|0.1~500kPa|根据需求定制|

|响应时间|5s|10s|3s|20s|

|接口类型|DN16CF,KF25|DN10CF,KF16|快插式,螺纹|根据需求定制|

|通信接口|RS232,模拟输出|RS485,USB,以太网|蓝牙,USB|根据需求定制|

|供电要求|220VAC,24VDC|220VAC±10%|内置锂电池,12VDC|根据需求定制|

|尺寸(长×宽×高)|150×100×80mm|200×150×100mm|120×80×60mm|根据需求定制|

|重量|1.5kg|3kg|0.8kg|1~10kg|

3.3气体兼容性与材料选择

VTI校准泄露质量压力表支持多种检测气体的使用，包括氦气(He)、氩气(Ar)、氮气(N?)、氢气(H?)、四氟