2025年大学《应用物理学》专业题库—— 应用物理学中的声表面波传感技术.docxVIP

2025年大学《应用物理学》专业题库——应用物理学中的声表面波传感技术

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每小题2分，共20分。请将正确选项的字母填在题后的括号内）

1.声表面波（SAW）是在下列哪种材料界面处传播的弹性波？

A.固体内部

B.液体内部

C.气体内部

D.两种不同介质界面

2.下列哪种波型不是在压电衬底上产生和传播的声表面波？

A.瑞利波(Rayleighwave)

B.拉梅波(Lovewave)

C.斯通利波(Stoneleywave)

D.弯曲波(Flexuralwave)

3.在常用的声表面波传感器中，用于产生和检测声波的金属薄膜通常被称为？

A.衬底

B.探头

C.振荡器

D.感应层

4.声表面波器件的谐振器（Resonator）通常表现出什么样的频率响应特征？

A.在特定频率处幅值急剧下降，相位接近180度

B.在特定频率处幅值急剧上升，相位接近0度

C.在特定频率处幅值平缓变化，相位保持不变

D.在宽频率范围内幅值和相位都保持稳定

5.决定声表面波器件品质因数（Q）的主要因素之一是？

A.衬底的弹性系数

B.电极的金属材料

C.器件的工作频率

D.器件表面的吸收损耗

6.当声表面波传感器用于测量压力时，通常利用了声波在介质中传播速度随压力变化的原理，这种效应属于？

A.压电效应

B.霍尔效应

C.热释电效应

D.现象弹性效应

7.在反射式声表面波（SAW）谐振器中，激励信号通过什么结构产生声波？

A.反射电极

B.激励电极（IDT）

C.输出叉指电极

D.基片下方声耦合层

8.声表面波化学传感器通常利用声波的哪种物理量随待测气体浓度变化来进行检测？

A.传播速度

B.谐振频率

C.振幅

D.相位

9.下列哪种材料通常被用作声表面波器件的衬底，以利用其优良的压电特性？

A.硅（Si）

B.聚四氟乙烯（PTFE）

C.氮化铝（AlN）

D.硫化锌（ZnS）

10.声表面波器件的叉指电极（InterdigitalTransducer,IDT）结构主要基于哪种物理原理工作？

A.压电效应

B.电磁感应

C.电荷耦合

D.磁阻效应

二、填空题（每空2分，共20分。请将答案填在题中的横线上）

1.声表面波是沿着______界面传播的机械振动波，其振幅随深度呈指数衰减。

2.声表面波的传播速度取决于______介质的弹性常数和密度。

3.品质因数Q是衡量声表面波能量耗散的物理量，Q值越高，表示______。

4.在声表面波器件中，通常使用______材料作为衬底，以实现声波的声电转换。

5.声表面波谐振器的频率响应曲线通常呈现出______和______两个极点（或谐振峰）。

6.声表面波传感器的灵敏度是指______随待测物浓度（或物理量）变化的程度。

7.声表面波器件中的反射式结构通常由一个______和一个______组成。

8.影响声表面波器件尺寸的主要因素包括工作频率、衬底材料和______。

9.声表面波温度传感器通常利用声波传播速度或______随温度变化的特性。

10.识别不同类型的声表面波器件（如延迟线、谐振器）通常依据其______的结构和频率响应特征。

三、简答题（每题5分，共15分）

1.简述利用声表面波进行压力测量的基本原理。

2.与体声波（BAW）传感器相比，声表面波（SAW）传感器的主要优点有哪些？

3.解释什么是声表面波器件的叉指电极（IDT），并简述其工作原理。

四、计算题（每题8分，共16分）

1.一个工作在10MHz的SAW谐振器，其谐振频率为f_resonance=10.000MHz，反谐振频率为fAnti-resonance=10.015MHz。求该谐振器的品质因数Q值。

2.已知声波在特定压电衬底上的传播速度为v=3360m/s。如果一个SAW延迟线的中心频率为f=100MHz，要求延迟时间τ=100ns。估算该延迟线需要的叉指电极长度（假设电极间隙为a）。

五、论述题（10分）

试论述声表面波（SAW）技术在现代传感领域的应用前景，并举例说明其在至少两个不同领