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公司硅料腐蚀工设备安全操作规程

文件名称：公司硅料腐蚀工设备安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司从事硅料腐蚀作业的员工，涉及硅料腐蚀设备操作及维护工作。适用于硅料腐蚀工序中，使用各类腐蚀设备进行硅料腐蚀处理的场景。操作人员需遵守本规程，确保作业安全，预防事故发生。规程内容涵盖设备操作前的检查、操作过程中的注意事项、事故应急处理等方面，旨在保障操作人员及设备安全。

二、操作前的准备

1.防护用具的使用：

操作人员必须穿戴符合要求的防护用具，包括但不限于：

-防腐蚀手套：确保手套材质与腐蚀液相匹配，避免皮肤直接接触腐蚀性物质。

-防护眼镜：佩戴符合标准的防护眼镜，防止腐蚀液溅入眼睛。

-防护服：穿着耐腐蚀工作服，保护身体不受腐蚀液侵害。

-防尘口罩：在操作过程中，若产生粉尘，需佩戴防尘口罩。

-安全鞋：穿着防滑、防腐蚀的安全鞋，确保在湿滑或腐蚀性地面行走时的安全。

2.设备启机前的检查项目：

-检查设备外观是否有损坏，尤其是腐蚀液进出口、管道、阀门等易损部件。

-检查腐蚀液储存容器是否完好，腐蚀液液位是否在安全范围内。

-检查腐蚀液管道是否畅通，无堵塞现象。

-检查设备电气部分，确保电源线、插座、开关等无破损，电源电压符合设备要求。

-检查设备控制系统，确保操作面板、按钮、指示灯等正常工作。

-进行设备空载试运行，检查设备是否运转正常，无异常噪音或振动。

3.作业区域的准备要求：

-清理作业区域，确保无杂物、积水，地面干燥平整。

-检查作业区域通风情况，确保通风良好，有害气体能及时排出。

-设置警示标志，提醒他人注意腐蚀区域，避免误入。

-检查消防器材是否在位且有效，如灭火器、消防沙等。

-确保紧急撤离通道畅通无阻，以便在紧急情况下迅速撤离。

-准备好应急处理物资，如中和剂、防护服、手套等，以备不时之需。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

-启动设备前，确认所有操作人员已经穿戴好防护用具，并熟悉操作规程。

-打开腐蚀液储存容器阀门，缓慢释放腐蚀液至设备内，确保液位在安全范围内。

-启动设备，按照设备操作手册逐步进行，通常包括启动电机、调节腐蚀液流量、设定腐蚀时间等。

-设备运行过程中，密切监控腐蚀液的温度、流量和设备运行状态，确保工艺参数稳定。

-工艺结束后，关闭腐蚀液阀门，停止设备运行，等待设备冷却至安全温度。

-清洗设备内部，确保无残留腐蚀液，然后关闭所有阀门，进行设备维护和清洁。

2.特殊工序的操作规范：

-对于需要特殊处理或控制条件的工序，如低温腐蚀、高浓度腐蚀等，需严格按照工艺要求进行操作。

-低温腐蚀时，需确保腐蚀液温度控制在规定范围内，避免腐蚀效果不佳或设备损坏。

-高浓度腐蚀时，需严格控制腐蚀液浓度和腐蚀时间，防止腐蚀过度或设备过热。

-特殊工序操作前，需对设备进行特别检查，确保设备性能满足特殊工艺要求。

3.异常工况的处理方法：

-设备运行过程中出现异常噪音、振动或温度异常升高，应立即停止设备，检查原因并排除故障。

-腐蚀液泄漏时，应立即关闭泄漏点附近的阀门，使用吸油毡等工具吸收泄漏的腐蚀液，并通知相关人员处理。

-电气故障导致设备停止运行，应先切断电源，然后检查电路，修复故障后再启动设备。

-人员皮肤或衣物接触腐蚀液时，应立即用大量清水冲洗，并寻求医疗帮助。

-若发生火灾，应立即使用灭火器进行初期灭火，并迅速撤离至安全区域，同时拨打消防电话报警。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

-腐蚀液温度：应控制在工艺规定的温度范围内，通常在30-50摄氏度之间，具体温度根据腐蚀液性质和工艺要求调整。

-腐蚀液流量：应稳定在工艺规定的流量，通过流量计进行实时监测，确保腐蚀均匀。

-设备转速：根据工艺要求调整电机转速，通过转速表或设备内置的转速控制器进行监控。

-压力：腐蚀槽和管道的压力应稳定，不应超过设备设计的工作压力，压力表应实时显示压力值。

-噪音和振动：设备运行时噪音和振动应在正常范围内，超过正常水平可能预示着设备存在故障。

2.典型故障现象：

-腐蚀液泄漏：设备外壳、管道或阀门处有腐蚀液滴落，可能是因为密封不良或损坏。

-设备过热：设备表面温度异常升高，可能是由于腐蚀液温度过高或设备散热不良。

-异常噪音：设备运行时发出不正常的噪音，可能是轴承损坏、齿轮磨损或电机故障。

-设备振动加剧：设备运行时振动明显增加，可能是设备安装不稳定或存在机械故障。

3.状态监测的操作要求：

-操作人员应