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掩膜版制造工现场作业操作规程

文件名称：掩膜版制造工现场作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于掩膜版制造工在生产过程中的现场作业。所有参与操作人员必须严格遵守本规程，确保作业安全、高效、有序。规程要求操作人员具备一定的专业技能和知识，熟悉设备性能、操作流程和安全注意事项，确保作业过程中的人身和设备安全。同时，操作人员应保持良好的工作态度，积极主动地参与安全培训，不断提高自身安全意识。

二、操作前的准备

1.个人防护措施：

a.操作人员必须佩戴符合规定的防护眼镜，以防化学物质溅入眼中。

b.根据作业环境，佩戴适当的防护手套、防护服和口罩，防止皮肤接触有害物质和吸入有害气体。

c.工作场所应配备应急洗眼器和淋浴设施，操作人员应熟悉其使用方法。

2.设备状态确认：

a.检查设备外观是否有损坏，如裂缝、变形等，确保设备完好无损。

b.检查设备电源线、气源管道等是否有松动、老化现象，确保电气和气源安全。

c.检查设备运行参数是否在正常范围内，如温度、压力等，如有异常，应立即停止操作并报告维修人员。

d.确认设备润滑系统正常，定期进行润滑维护。

3.环境检查：

a.检查工作场所通风是否良好，确保有害气体浓度在安全范围内。

b.检查地面是否平整、无积水，防止滑倒事故。

c.检查消防设施是否齐全、有效，确保消防器材处于良好状态。

d.检查紧急出口、疏散通道是否畅通，确保在紧急情况下能够迅速撤离。

4.工具和材料准备：

a.根据作业要求，准备必要的工具和材料，如镊子、螺丝刀、清洁剂等。

b.检查工具和材料是否符合要求，如有损坏或不符合标准，应立即更换或报修。

c.将工具和材料放置在指定位置，确保操作过程中方便取用。

5.安全培训与交底：

a.操作人员应参加安全培训，了解本规程内容及安全操作注意事项。

b.操作前，由班组长或指定人员对操作人员进行现场交底，明确作业内容、风险点和应急措施。

c.操作人员应充分理解交底内容，如有疑问应及时提出。

6.工作票制度：

a.作业前填写工作票，明确作业内容、地点、时间、人员及安全措施。

b.工作票经审批后，操作人员方可开始作业。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行个人防护，穿戴好必要的防护装备。

b.对设备进行状态检查，确认设备无异常后，开启设备电源。

c.按照作业指导书或操作手册，进行设备初始化和参数设置。

d.检查工作环境，确保通风良好，无安全隐患。

e.准备好所需的掩膜版和辅助材料，放置在操作台指定位置。

f.根据作业流程，依次进行掩膜版的清洗、烘干、贴膜、曝光、显影、定影等操作步骤。

g.每完成一个操作步骤，检查掩膜版的质量和状态，确保无误后再进行下一步骤。

h.操作完成后，对掩膜版进行清洗、烘干处理，并存放在干燥箱中。

2.作业方式：

a.操作过程中，保持专注，严格按照操作规程进行。

b.使用工具时，确保握持稳固，避免因工具滑落造成伤害。

c.在进行精细操作时，使用镊子等辅助工具，避免直接用手接触掩膜版。

d.曝光过程中，确保光源稳定，避免曝光时间过长或不足。

e.显影和定影过程中，严格按照比例配置溶液，控制好温度和时间。

3.异常处置：

a.发现设备异常，立即停止操作，切断电源，并报告维修人员。

b.发现掩膜版质量问题，立即停止操作，将问题报告给上级或工程师。

c.遇到紧急情况，如火灾、化学品泄漏等，立即启动应急预案，并迅速撤离现场。

d.操作过程中，如发生人员受伤，立即停止操作，进行初步急救，并报告上级或医疗部门。

4.操作记录：

a.操作完成后，填写操作记录表，记录操作时间、设备状态、材料消耗等信息。

b.定期对操作记录进行审查，分析操作过程中的问题和改进措施。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行时，噪音、振动在可接受范围内，无异常响动。

b.设备表面温度在规定的工作温度范围内，无过热现象。

c.电气系统无短路、漏电现象，设备电源指示灯正常工作。

d.气源压力稳定，流量符合设计要求，无泄漏现象。

e.设备控制系统运行平稳，无异常报警信号。

f.传感器、检测器等反馈信号准确，无偏差。

2.异常现象识别：

a.设备运行中出现异常噪音，如金属敲击声、摩擦声等。

b.设备表面温度异常升高，超出安全工作温度范围。

c.电气系统出现故障，如电源不稳定、指示灯不亮、报警系统失效等。

d.气源压力波动大，流量不稳定，或出现气体泄漏。

e.控制系统出现错误指令，如程序中断、参数设