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第1期电子学报Vol.51No.1
2023年1月ACTAELECTRONICASINICAJan.2023
氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究
1，21，21，231，2
赵继聪，吕世涛，张敖宇，宋晨光，孙海燕
（1.南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室，江苏南通226019；2.南通大学信息科学技术学院，江苏南通226019；
3.南通大学电气工程学院，江苏南通226019）
摘要：本文介绍了工作频率为400MHz和2GHz氮化铝Lamb波谐振器的结构设计、微纳制造及测试表征，研
Q
究了锚点损耗和声子间相互作用损耗对Lamb波谐振器品质因数（值）的影响，并分析了不同工作频率的Lamb波谐
振器的主要能量损耗来源.研究发现：对于低频谐振器，锚点损耗为其主要能量损耗来源，因此减小支撑轴宽度可减
Q
少通过支撑轴泄漏至衬底的能量，进而提高值；对于高频谐振器，声子间相互作用损耗为其主要能量损耗来源，因此
Q
相比于金（Au），采用铝（Al）作为叉指电极（IDT）材料的谐振器具有更高值.针对Lamb波谐振器的结构特点，设计了
一套基于七步光刻工艺的微纳制程，成功制备了具有微型化释放腔体的Lamb波谐振器，并具备优异的性能.测试结
Q
果表明，工作频率为400MHz和2GHz的Al-IDT谐振器的串联品质因数（）分别达到2590和1192.
s
关键词：微机电系统；Lamb波谐振器；品质因数；能量损耗；制备工艺
基金项目：国家自然科学基金（No，No）
中图分类号：TN4；TN712文献标识码：A文章编号：0372-2112(2023)01-0222-09
电子学报URL:http://www.DOI:10.12263/DZXB
AnalysisandResearchonEnergyLossofAluminumNitrideLamb
WaveResonators
1,21,21,231,2
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