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特种气体系统工程技术规范
一、气源系统技术要求
特种气体气源系统应根据气体性质（包括但不限于纯度等级、腐蚀性、毒性、可燃性、氧化性）、使用流量、存储周期及供应连续性要求进行设计，包含高压气态存储装置、低温液态存储装置及配套汽化/减压装置。
1.1气源装置分类与选型
（1）高压气态气源：适用于使用流量≤50Nm3/h的中小型用气场景，采用钢瓶（公称容积40L、50L）、集装格（≥5瓶组）或管束集装箱（设计压力≥15MPa）。钢瓶材质应符合GB/T5099.1要求，内壁需经抛光处理（粗糙度Ra≤0.8μm）；腐蚀性气体（如HCl、Cl?）钢瓶内壁应采用镍基合金涂层或哈氏合金衬里
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