激光衍射测量原理.pptVIP

第1页，共22页，星期日，2025年，2月5日图5-1第2页，共22页，星期日，2025年，2月5日当L（缝长）W（缝宽）λ，且时，满足远场夫朗和费（Fraunhofer）单缝衍射条件，其光强分布为：对各级暗纹：特点：（1）各暗纹间隔相等，亮纹间隔不相等。（2）主极大角宽度为相临暗纹角间隔的二倍。第3页，共22页，星期日，2025年，2月5日二、细丝衍射原理：巴比列定律：“两互补屏所产生的衍射图形，其衍射花样和光强分布相同，但存在π的位相差”。证明：考察在频谱面上的任一点P。1、平等光通过缝宽为d的单缝衍射后，在衍射屏P点的振幅为；P0点（中心点）的振幅为；2、若将单缝换成直径为d的细丝，则在衍射屏P点的振幅为；P0的振幅为；3、若平行光不通过单缝或细丝而直接入射到透镜上；则只在物镜的后焦点Fˊ上（后焦点）成一亮点，其振幅为，在其余各点处，振幅；第4页，共22页，星期日，2025年，2月5日根据在巴比列定律：平行光分别通过单缝和有相同宽度的单丝后在P点的衍射条纹振幅之和（）等于平行光直接通过透镜后，在同一点P的振幅yP（此时yP=0）其光强为而在F′处：结论：除点外，在其余各点，单缝和的同尺寸细丝的衍射光强分布相同。因此在衍射计量中，可将单缝衍射公式用于单丝衍射的情况。第5页，共22页，星期日，2025年，2月5日三、讨论：（一）静态测量：即找出W=F(Xn)的函数关系。1、无透镜系统：（如图5-2）将上式代入单缝衍射公式中得：当XnR时，则上式变为：图5-2第6页，共22页，星期日，2025年，2月5日图5-32、透镜系统对图（5-3）所示的结构同理有：第7页，共22页，星期日，2025年，2月5日（二）动态测量：当狭缝改变ΔW时，同一级衍射条纹的位置改变。此时，即找出的函数关系。1、无透镜系统：2、有透镜系统若测出在某定点P点Xn的变化量ΔXn，即可求出缝宽变化量ΔW，以上为衍射的四大公式。第8页，共22页，星期日，2025年，2月5日一、可获得较大的光学放大倍率M：由公式：得：例，设R=400mm，K=2，λ=0.6328×10-3mm，W=0.05mm，二、测量精度高：若在衍射谱面的P点用CCD器件接收，其测量误差可达±1个象元（±0.007mm），则对上例光电瞄准误差为：§5-2衍射测量的技术特点第9页，共22页，星期日，2025年，2月5日三、装置简单，调试方便四、绝对量程小，大约在（0.01~0.15）mm§5-3几种实用的测试方法一、尺寸的比较测量：（图5-4）先对标准刀口间隙归零，测量间隙的变化量第10页，共22页，星期日，2025年，2月5日图5-4第11页，共22页，星期日，2025年，2月5日二、部件轮廊测量：测量圆形工件表面形状和偏心。三、面形测量（反射衍射法）：测量光盘、磁盘面的跳动量对图（5-5）的系统，可以导出：图5-5第12页，共22页，星期日，2025年，2月5日当θ很小时，特点：1、放大倍率：即：反射衍射装置的光学放大倍率比非反射衍射型减小了一倍。2、灵敏度增大了一倍：当缝宽W增大1倍即为2W时，其等效缝宽增大4W。用途：（1）平面工件表面形状检测；（2）平面零件的间隙检测。第13页，共22页，星期日，2025年，2月5日图5-6附：反射衍射法公式推导：如图5-6所示：将宽缝W对平面镜成像，展开后，其等效缝宽为2W。根据透镜成像的等光程原理，轴外衍射光（平行光）（1），（2），在P点聚焦时其光程差为：第14页，共22页，星期日，2025年，2月5日第15页，共22页，星期日，2025年，2月5日四、细丝的衍射测量（互补法衍射测量）图5-7第16页，共22页，星期日，2025年，2月5日