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激光加工效果检测研究现状文献综述

激光加工效果检测一直是激光加工研究热点。激光信号是激光加工检测的数据源头和基础，只有采集到信号才有分析的可能。本节针对飞秒激光加工中的监测的各种研究方法些许引述。

1.1激光加工监测信号的研究现状

（1）光信号

激光加工信号在激光加工过程中产生且种类繁多，通常包括声、温、光、电、图像信号等。所有信号中直接传递的信号首是光信号，从光信号的波长来看，主要有紫外光、可见光、红外光信号三种类型。余吉勇教授和他的团队采用了通过等离子体对激光加工过程进行信号采集，通过调节加工参数，分析最终结果与采集信号之间的关系，通过算法进行判断结果。泰威斯等人对激光加工可探测信号与实验质量的相互关系进行研究，重点研究通过多种探测器监测光强，等离子发出的信号等。清华大学学者同样对等离子体信号进行研究，通过对光谱信号进行分析来判断加工质量。同时利用CCD对加工结果拍摄分析。利物浦大学的斯蒂恩等教授通过实验平台对光束的空间分布进行持续监测，控制功率对光束功率进行调节以及补偿，从而形成负反馈调节自动监测，但这种方法没有考虑到其他干扰源对材料的影响。王又青等人研制了实时监测光信号仪器，对激光加工与实时探测，功率监测规模较之前都有大幅提升，可以通过光强分布进行分析。同尚夫等人通过同轴式安装光电探测仪搭建出实时加工过探测系统，对收取光信号与预先信号进行对照来检验加工结果，可以应用于自动化生产中。。Sforza和Blassiis使用多个光学传感器，来监测加工过程，根据信号结果和信号比对进行了深入研究。Ostendorf等人通过硅光电的传感系统并依托相应算法，对加工过程中的光谱信息进行实时收集。

（2）声信号

声信号在激光加工中也是极为重要的信号信息，日本工业技术院机械技术研究所通过俘获激光打孔中产生的声音来控制加工，作为激光应用的新技术影响甚大。通过抓住声音状态和加工状态的相互关系，反馈声信号的控制装置将很快完成。UniversityofPatras的克里斯修斯等人通过电容传感器，对空气中的声压信号进行收集，利用声信号谱分析进行了FFT变换，对频谱进行分析，最终得到可以通过分析加工过程中的声信号频率，可以预测出加工形状，只是存在较大误差率。Farson等人使用电容麦克风对声信号进行监测，麦克风将采集信号传输到电脑，通过回归算法来构建分析模型。Gu和Duley使用全方向麦克风来监测激光加工过程中的共振声信号，通过声音频谱信息和计算方法来对加工结果进行分析，最终得到不同位置上的信号结果可以对加工结果进行提前预判。Mathias等人对于不同频率信号进行了分析，信号通过固体传播与加工结果有着很强的关联性，因此通过频率分类来进行监测。

（3）电信号

等离子体是由带电粒子构成，这些粒子可以通过携带不同电性实现平衡。激光加工过程中，由于局部磁场原因使得粒子发生移动，存在不同粒子的速度差从而形成电信号。Li等人使用一种等离子体传感器检测激光加工时产生的电位信号，从而对加工环境进行判断和监测。赵圣斌等人通过一种新型无源探针来对激光加工信号进行监测，发现在不同加工参数下，电信号会存在很大时间差异性，从而可以对加工参数进行区分。Zhang等人通过团队设计出新型测量回路，该系统可以改变探针位置对电信号进行监测和收集。

1.2激光加工信号处理的研究现状

对信号进行采集监测是智能加工的底层工作，接下来进行的是对信号和数据的处理工作，这一步在整个智能化制造中非常重要。首先对于所有的数据信号来说，信号中都是夹带噪声和空间其他干扰因素。因此对数据的第一步处理往往是降噪处理，之后对特征值进行提取，并研究其与加工参数关系，对加工结果进行判断。

数据分析由于信号不同分为不同种类，本文主要针对光谱信号信息数据处理，包括数字信号处理技术方面一系列，具体的分析方法有FFT变换、拉格朗日变换、主成分分析等信号处理技术。黄于等人采用经验模态方法对光信号进行分析，得到了可以有效对加工气孔缺陷进行估计的方法和理论。向丹等人同样采用经验模态分析同时结合非线性动力学参数熵提出了对加工结果的多种模式预判算法。

信号分析对于获取有价值数据有着重要的作用，通过特征参数进行数据量化，对不同数据进行分类识别，最终可以通过采集信号来对加工结果进行质量和效果预判和诊断。而大部分预判和诊断都采用模型识别算法，通过特征值进行深度学习和模型训练，利用模型来进行预判诊断。Zhang等人采用神经网络模型对实验结果进行预先估计，结果表明可以在不同加工速度下进行加工预测使用机器学习的方法。YuanZhang等人综合运用经验模态和主成分分析法模型，对滚动轴承工作状态进行了安全范围估计以及不同故障情况下的情形识别，结果表明该算法稳定性和精准度较高，可以实现实时探测加工结果的功能。

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