半导体制造工艺流程指南.pdfVIP

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半导体制造工艺流程指南

第一章半导体制造概述2

1.1半导体材料简介2

1.2半导体器件分类2

1.3半导体制造工艺发展历程3

第章晶圆制备3

2.1晶圆生长3

2.2晶圆切割与抛光4

2.3晶圆清洗与检测4

第三章光刻工艺4

3.1光刻原理4

3.2光刻胶与光刻机5

3.2.1光刻胶5

3.2.2光刻机5

3.3光刻过程控制6

第四章蚀刻工艺6

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