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酸雾喷淋塔处理废气方案

一、项目背景

某电子元件蚀刻车间全年运行7200h，采用硝酸-氢氟酸体系对铜箔进行微蚀，槽面挥发及工件夹带产生的混合酸雾（主要污染物为HF、NOx、HNO?）原采用侧吸罩+15m排气筒直排，排放浓度HF45mg/m3、NOx180mg/m3，远超《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级限值（HF9mg/m3、NOx120mg/m3）。企业周边200m即为居民小区，投诉率居高不下，环保部门责令三个月内完成治理并提交第三方比对监测报告。受场地限制，新增设备只能布置于原屋顶风机旁4m×3m区域，荷载≤5kN/m2，电源仅余15kW备用回路，不允许新增土建基础。综合比选后，确定采用“一级酸雾喷淋塔+一级碱洗喷淋塔+25m排气筒”工艺，塔体采用轻量化FRP缠绕，配防冰晶系统，实现-5℃冬季稳定运行，目标排放浓度HF≤5mg/m3、NOx≤80mg/m3，系统阻力≤1200Pa，投资控制在38万元以内。

二、废气参数与物料衡算

1.风量核算

原风机铭牌风量12000m3/h，实测管道动压平均42Pa，换算得实际风量11800m3/h，考虑10%漏风系数，设计风量取13000m3/h。

2.温度与含湿量

夏季最高35℃，饱和含湿量37g/kg；冬季最低-5℃，含湿量2g/kg。酸雾露点经Antoine方程计算为52℃，需控制塔内温度＜50℃防止白烟。

3.污染物浓度

HF45mg/m3、NO?120mg/m3、HNO?60mg/m3，合计酸雾225mg/m3，其中NOx中NO?占比85%，NO占比15%。

4.物料衡算

小时污染物总量：

HF0.585kg/h、NO?1.56kg/h、HNO?0.78kg/h。

按95%去除率计，需移出HF0.556kg/h、NO?1.48kg/h、HNO?0.741kg/h。

吸收液采用5%NaOH+3%Na?S?O?复合液，NaOH理论耗量按HF+HNO?+NO?（1molNO?需2molNaOH）计算：

HF0.585kg/h÷20×1=0.029kmol/h

HNO?0.78kg/h÷63×1=0.012kmol/h

NO?1.56kg/h÷46×2=0.068kmol/h

合计NaOH0.109kmol/h=4.36kg/h，取1.2倍安全系数，实际加碱5.2kg/h。

Na?S?O?用于还原NO?，按1molNO?需0.5molNa?S?O?，需0.034kmol/h=5.4kg/h，配3%质量浓度，循环液流量需≥180L/h。

三、工艺路线与系统配置

1.工艺流程

酸雾→防火阀→FRP酸雾喷淋塔（一级）→FRP碱洗喷淋塔（二级）→高效除雾器→变频引风机→25m排气筒。

2.塔体结构

（1）酸雾塔：?1.6m×5.5m，空塔气速1.8m/s，液气比2.5L/m3，两层喷淋，层间距1.2m，填料层高度1.5m，选用?50mm海尔环，比表面积110m2/m3，持液量12%。

（2）碱洗塔：?1.4m×5.0m，空塔气速2.0m/s，液气比3.0L/m3，三层喷淋，填料层高度2.0m，选用?38mm阶梯环，比表面积130m2/m3。

（3）塔体材质：双酚A型乙烯基酯树脂+无碱玻璃纤维缠绕，内衬2mmC型玻璃鳞片防渗层，外壁添加0.5%UV-9抗老化剂，设计寿命15a。

3.喷嘴与泵

选用SiC螺旋喷嘴，喷角120°，液滴Sauter平均粒径650μm，覆盖率300%。循环泵采用氟塑料磁力泵，Q=25m3/h、H=22m、N=3kW，一用一备，配0.6m3缓冲罐防汽蚀。

4.除雾器

三级折流板+丝网除雾，临界流速3.5m/s，出口液滴含量＜30mg/m3。

5.自控系统

pH在线监测（梅特勒-托利多4050DP），量程0-14，输出4-20mA，设定pH下限9.0，低于此值自动启碱液计量泵；ORP监测（+200~-1000mV），控制Na?S?O?投加；循环液电导率＞80mS/cm时自动排污30%并补水；塔进出口设压差变送器，压差＞1200Pa报警提示清洗填料。

6.防冻措施

塔底设5kW浸入式加热器，循环管外包30mm厚橡塑保温+铝皮，室外部分缠伴热带，维持液体温度＞5℃。

四、关键单元设计计算

1.塔径校核

酸雾塔气速1.8m/s，13000m3/h换算体积