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纳米谐振器结构加工技术：挑战、突破与前沿应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，纳米谐振器作为一种关键的纳米尺度器件，正逐渐在众多领域崭露头角，成为推动科技进步的重要力量。纳米谐振器，本质上是一种能够在固有频率下进行稳定振荡的微型结构，其特征尺寸通常被严格限定在纳米尺度范围内。这一独特的尺度赋予了纳米谐振器一系列卓越的性能优势，使其在传感、科学仪器、通讯等多个前沿领域展现出不可替代的重要作用。

在传感领域，纳米谐振器凭借其高灵敏度和高分辨率的特性，成为检测微小物理量变化的理想选择。例如，在生物传感中，它能够精准地探测到单个生物分子的质量变化或分子间的相互作用，为早期