玻璃基板上化学镀铜的方法.docx

在玻璃基板上化学镀铜的方法

化学镀铜工艺分为基板预处理、配方调控、精准施镀和性能验收四步流程，现整理操作方法如下，全文参考GBT/T250规范及电镀清洁生产标准HJ554文件编写。（配方在附件结尾）

预处理程序

①表面打毛：取800目氧化铝砂轮沿单方向打磨玻璃表面，消除凸点，水砂冲洗至表面乳白哑光时终止，处理后的亲水角应＞85度便于金属沉积；

②去污活化：以碱性清洗液（8%氢氧化钠、2%磷酸三钠、1%皂角粉）浸泡10分钟，升温至55-60℃溶解脱模油渍，形成均相钝化膜；用活化液（浓度为250ml/L的氟硼酸）浸渍处理30秒，取出漂洗至浸出液pH值趋于中性；

③界面敏化：锡盐催粘体系中需要盐