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测控技术

试验与测试２０２３４２９·３１·

年第卷第期

半球谐振子振动特性批量化测试技术

王鹏，曲天良，刘天怡，张红波，张熙

（华中光电技术研究所－武汉光电国家研究中心，湖北武汉４３０２２３）

摘要半球谐振子是半球谐振陀螺的核心部件其振动性能测试贯穿生产加工调平和装配整个过程是

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半球谐振陀螺制造必不可少的环节，特别是对于高精度半球谐振陀螺，其谐振子具备高Ｑ值低频率裂

解的特性，需要高效率、批量化的测试手段，以满足半球谐振陀螺批量生产的需求。为解决谐振子批量

化测试问题首先介绍了半球谐振子的工作原理仿真分析了谐振子振动特性和表征方法其次针对

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半球谐振陀螺谐振子振动特性测试问题提出了基于波动特性原理的振动特性测试方法最后根据所

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提出的振动特性的测试方法设计了单腔室多工位谐振子振动特性批量化测试平台和工艺采用激光测

振仪进行振动信号的采集，完成了谐振子振动特性的检测，极大地提高了测试效率，满足半球谐振陀螺

批量生产的要求。

关键词半球谐振陀螺频率裂解振动特性批量化测试

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中图分类号：ＴＰ２；ＴＨ８９文献标志码：Ａ文章编号：１０００－８８２９（２０２３）０９－００３１－０７

ｄｏｉ：１０．１９７０８／ｊ．ｃｋｊｓ．２０２２．１０．３１０

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