- 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
集成电路制造工艺
--常见的半导体薄膜
薄膜生长------热氧化薄膜制备--物理气相淀积第二章薄膜制备半导体生产中常用的薄膜本章要点薄膜制备—外延生长薄膜制备--化学气相淀积
§2.1半导体生产中常用的薄膜将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容等元件及其连线全部用0.1μm的薄膜制成集成电路薄膜集成电路将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容等元件及其连线全部用0.1μm的薄膜制成集成电路厚膜集成电路集成电路分类
良好的台阶覆盖能力良好的粘附性高的深宽比填充结构完整,厚度均匀应力小薄膜的特性
台阶覆盖
高的深宽比:高度/宽度数值很大深宽比填充
应变材料在外力作用下不能产生位移时,它的
您可能关注的文档
- 集成电路制造工艺 课件 第11章 集成电路测试与可靠性分析.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第10章 CMOS集成电路制造工艺.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第9章 洁净技术.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第8章 组装工艺.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第7章 硅衬底制备.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第6章 平坦化 .pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第5章 掺杂.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第4章 刻蚀.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第3章 光刻.pptx
- 集成电路制造工艺 课件 第1章 集成电路制造工艺的发展与工艺流程.pptx
- 广东省东莞市2024-2025学年八年级上学期生物期中试题(解析版).pdf
- 非遗剪纸文创产品开发经理岗位招聘考试试卷及答案.doc
- 广东省东莞市2024-2025学年高二上学期期末教学质量检查数学试题.pdf
- 体育安全理论课件图片素材.ppt
- 3.1 公民基本权利 课件-2025-2026学年道德与法治八年级下册 统编版 .pptx
- 广东省潮州市湘桥区城南实验中学等校2024-2025学年八年级上学期期中地理试题(解析版).pdf
- 大数据运维工程师岗位招聘考试试卷及答案.doc
- 广东省深圳市福田区八校2026届数学八年级第一学期期末教学质量检测模拟试题含解析.doc
- 广东省潮州市湘桥区城基初级中学2024-2025学年八年级上学期11月期中考试数学试题(解析版).pdf
- 广东省潮州市湘桥区城西中学2024-2025学年八年级上学期期中地理试题(解析版).pdf
原创力文档


文档评论(0)