集成电路制造工艺 课件 第2章 薄膜制备.pptx

集成电路制造工艺 课件 第2章 薄膜制备.pptx

  1. 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
  2. 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  3. 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多

集成电路制造工艺

--常见的半导体薄膜

薄膜生长------热氧化薄膜制备--物理气相淀积第二章薄膜制备半导体生产中常用的薄膜本章要点薄膜制备—外延生长薄膜制备--化学气相淀积

§2.1半导体生产中常用的薄膜将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容等元件及其连线全部用0.1μm的薄膜制成集成电路薄膜集成电路将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容等元件及其连线全部用0.1μm的薄膜制成集成电路厚膜集成电路集成电路分类

良好的台阶覆盖能力良好的粘附性高的深宽比填充结构完整,厚度均匀应力小薄膜的特性

台阶覆盖

高的深宽比:高度/宽度数值很大深宽比填充

应变材料在外力作用下不能产生位移时,它的

您可能关注的文档

文档评论(0)

xiaobao + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档