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配方细线化电镀金刚线硅片切割液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
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7#
8#
9#
10#
渗透剂
C8～C12聚氧乙烯聚氧丙烯醚
80
85
95
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85
C5聚氧乙烯聚氧丙烯醚
—
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80
85
95
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C15聚氧乙烯聚氧丙烯醚
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80
85
95
—
分散剂
烯丙基聚氧乙烯醚
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
防锈剂
甲基苯丙三氮唑
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
低泡渗透添加剂
聚醚改性聚硅氧烷
2
2
2
2
2
2
2
2
2
—
低泡渗透剂SF
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2
去离子水
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
原料
配比（质量份）
11#
12#
13#
14#
15#
16#
渗透剂
C8～C12聚氧乙烯聚氧丙烯醚
85
90
85
85
85
85
分散剂
烯丙基聚氧乙烯醚
1
3
5
3
3
3
防锈剂
甲基苯丙三氮唑
5
1.5
1.5
0.5
—
0.5
异丙基苯丙三氮唑
—
—
—
—
0.5
—
低泡渗透添加剂
聚醚改性聚硅氧烷
1
3
2
0.3
0.3
6
去离子水
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
加至100
制备方法将渗透剂、分散剂、防锈剂混合，然后再向其中加入低泡渗透添加剂混合均匀，与余量去离子水混合搅拌2～5h，得到硅片切割液。
原料配伍
所述渗透剂是聚氧乙烯聚氧丙烯醚。
所述低泡渗透添加剂是聚醚改性聚硅氧烷。
所述渗透剂是C8～C12的脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚，其中C8～C12指的是脂肪醇链中碳原子数。
所述分散剂是带有不饱和烷基的聚氧乙烯醚。
所述分散剂采用烯丙基聚氧乙烯醚。
所述硅片切割液还包括防锈剂，以所述硅片切割液的总质量为100%计，所述防锈剂的添加量为0.1～5wt%。
所述防锈剂是甲基苯并三氮唑或异丙基苯并三氮唑。
产品应用本品主要是一种细线化电镀金刚线硅片切割液。
产品特性
（1）该硅片切割液具有优异的渗透性和分散性，渗透性好、更易清洗，能够快速地渗透至更窄的硅片之间，带走切割过程中产生的硅粉，同时，该硅片切割液可以保证钢线水分不流失，大大的降低断线风险。
（2）选用渗透剂是聚氧乙烯聚氧丙烯醚，低泡渗透添加剂是聚醚改性聚硅氧烷，二者共同作用，协同增效，一方面，聚氧乙烯聚氧丙烯醚可以增加聚醚改性聚硅氧烷在水中的溶解性，使聚醚改性聚硅氧烷充分溶解，进而不会附着在硅片表面导致污片，另一方面，充分溶解后的聚醚改性聚硅氧烷既可以作为泡沫抑制剂，又可以进一步增加聚氧乙烯聚氧丙烯醚的渗透性和分散性，使硅片切割液可以快速渗透至硅片之间，带走切割产生的硅粉。选择C8～C12的脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚使本品硅片切割液的渗透性、分散性更好。带有不饱和烷基的聚氧乙烯醚作为分散剂，其分散效果更好，与渗透剂以及低泡渗透添加剂配合使用，可以使最后得到的硅片切割液渗透至较窄的锯缝间的同时，降低硅粉在硅片表面的附着力，将硅粉分散在切割液并中带走硅粉。防锈剂能很大程度的降低钢线在切割过程中由于有机试剂的腐蚀出现钢线生锈，降低了断线的风险。苯并三氮唑衍生物作为防锈剂使用，具有更优异的防锈功能，可以保护钢线和设备不被侵蚀，降低断线率，保证设备的稳定性。
（3）本品硅片切割液选用渗透剂是聚氧乙烯聚氧丙烯醚，低泡渗透添加剂是聚醚改性聚硅氧烷，二者共同作用，协同增效，一方面，聚氧乙烯聚氧丙烯醚可以增加聚醚改性聚硅氧烷在水中的溶解性，使聚醚改性聚硅氧烷充分溶解，进而不会附着在硅片表面导致污片，另一方面，充分溶解后的聚醚改性聚硅氧烷既可以作为泡沫抑制剂，又可以进一步增加聚氧乙烯聚氧丙烯醚的渗透性和分散性，使硅片切割液可以快速渗透至硅片之间，同时本品硅片切割液选用带有不饱和烷基的聚氧乙烯醚作为分散剂，其分散效果更好，与渗透剂及低泡渗透添加剂配合使用，可以使硅片切割液渗透至较窄的锯缝间，降低硅粉在硅片表面的附着力，将硅粉分散在切割液中带走硅粉；
（4）本品渗透剂、低泡渗透分散剂和分散剂均为聚醚类物质，三者具有良好的相容性，在水中不易析出，不会污染硅片；
（5）本品提供的硅片切割液可以在钢线表面形成保护膜，使钢线在跑线过程中水分不流失，而且使用防锈剂能很大程度的降低钢线在切割过程中由于有机试剂的腐蚀出现钢线生锈，降低了断线的风险。
参考文献中国专利公告CN－201911223713.3
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