大尺寸硅片游离磨料水基切割液.docVIP

配方大尺寸硅片游离磨料水基切割液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

11#

12#

多元醇及其衍生物

乙二醇

40

—

—

—

40

—

—

—

40

—

—

—

乙二醇丁醚

20

—

—

—

—

—

10

—

—

—

—

—

丙三醇

—

50

—

—

—

50

—

—

—

—

50

—

丙二醇丁醚

—

5

—

—

—

—

—

5

—

—

—

—

丙二醇丙醚

—

—

—

—

—

15

—

—

—

—

—

—

丙二醇

—

—

40

—

—

—

40

—

—

45

—

—

乙二醇乙醚

—

—

10

—

—

—

—

—

—

—

—

—

丁二醇

—

—

—

40

—

—

—

40

—

—

—

60

丙二醇甲醚

—

—

—

5

—

—

—

—

—

—

—

—

丁二醇甲醚

—

—

—

—

20

—

—

—

—

—

—

—

超分散剂

10

25

13

22

15

20

10

25

13

22

15

20

润滑剂

1

8

5

2

3

4

5

6

7

1

8

5

润湿剂

氟化聚丙烯酸酯

0.05

1

0.1

0.9

—

—

—

—

—

—

—

—

有机硅

—

—

—

—

0.2

0.3

—

—

—

—

—

—

磺基琥珀酸酯

—

—

—

—

—

—

0.4

0.5

—

—

—

—

聚醚改性硅氧烷

—

—

—

—

—

—

—

—

0.6

0.7

—

—

聚丙烯酸酯

—

—

—

—

—

—

—

—

—

—

0.8

1

水

60

20

25

30

35

40

45

50

55

60

20

40

制备方法

（1）将润湿剂、润滑剂、多元醇及其衍生物依次加入到水中，搅拌混合均匀。

（2）保持搅拌下缓慢加入超分散剂，提高搅拌转速至1500～2000r/min，搅拌15～30min。

原料配伍

所述多元醇为低分子链的亲水性多元醇如乙二醇、丙二醇、丙三醇、丁二醇等，所述多元醇衍生物优选如下结构：Rl-O-R2-OH其中R1是直链烷基CqH2q+1，q为1～4的整数；R2是直链烷基CpH2p，p为2～4的整数。例如，乙二醇丁醚(q=4，p=2)、丙二醇丁醚(q=4，p=3)。

所述多元醇含量不少于40份，其衍生物含量在0～20份之间。所述多元醇及其衍生物的在切割液中的总质量份为40～60份。

所述超分散剂为聚氨酯类阴非离子超分散剂。它包括锚固基团、聚氨酯链段和溶剂化链段，锚固基团在聚氨酯链段的一端，溶剂化链段设置在聚氨酯链段上；所述锚固基团采用硅氧烷基，聚氨酯链段包括单端二羟基聚醇、脂肪族二异氰酸酯、二羟甲基酸、羟基聚乙二醇羧酸，溶剂化链段采用聚多元醇或聚多元醇羧酸；

所述超分散剂中单端二羟基聚醇为非离子型聚酯二元醇；

所述脂肪族二异氰酸酯的结构通式为O=C=N-R-N=C=O，其中R为直链烷基CxH2x或者环烷烃基CyH2y-2；其中，x为6～12的整数，y为8～16的整数；

所述二羟甲基酸为2，2一二羟甲基丙酸或2，2一二羟甲基丁酸；

所述羟基聚乙二醇羧酸的平均分子量为400～1000；所述润滑剂为脂肪醇聚醚，脂肪醇聚醚为环氧乙烷和环氧丙烷的水溶性共聚物；

所述润滑剂为脂肪醇聚醚，由环氧乙烷(EO)和环氧丙烷(PO)的水溶性共聚物即EO-PO无规聚醚中的一种或多种任意比例的混合物。

所述润湿剂为聚丙烯酸酯类、有机硅类、磺基琥珀酸酯类、改性烷氧基类润湿剂，为氟化聚丙烯酸酯类润湿剂。

所述超纯水为电阻至少为18MQ的去离子水。

可添加相对于切割液0.8～1.0倍质量的磨料，所述的磨料选自金刚砂、石英砂、黑色碳化硅、绿色碳化硅等。

产品应用本品主要是一种大尺寸硅片游离磨料水基切割液。

所述水基切割液制备切割砂浆的方法，包括如下步骤：

（1）将混合好的水基切割液称重后放入容器中，称量相对于切割液0.8～1.0倍质量的磨料；

（2）保持500～800r/min转速下，将磨料倒入切割液中，搅拌1～2h后，即得到制备的切割砂浆。

产品特性

（1）在超分散剂作用体系中，超分散剂以其锚固段紧吸附于颗粒表面，溶剂化段则伸展于分散介质中。当两个吸附有超分散剂分子的颗粒相互靠拢时，由于在重叠区域内聚合物浓度增加，渗透压会随之升高。在这种情况下聚合物链节还会因运动受到限制而产生熵斥力。这两种情况均会使粒子因斥力作用而弹开，从而回到初始的状态，在此状态下粒子不会发生聚集。碳化硅(SiC)粉末表面由氧化膜组成，其表面主要官能团为硅烷醇基团。针对这一结构特点，选择可与磨料形成共价键的硅氧烷作为锚固基团，此类型的超分散剂的锚固基团水解形成硅羟基，与磨料表面的硅羟基缩合形成共价键，从而锚固在SiC粒子表面；亲水的聚多元醇链段作为溶剂化链段使得SiC磨料稳定分散在水中。去离子水的加入有效提高切割液的冷却效果，提