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测控技术

·８４·２０２２４１９先进传感器与大气气象测量技术专刊／

年第卷第期

一种硅谐振压力传感器敏感芯体的特性测试

王宏音，姚敏强，李拉兔

（航空工业太原航空仪表有限公司，山西太原０３０００６）

摘要针对某型硅谐振压力传感器的压力敏感芯体主要测试了该压力敏感芯体的幅频特性相频特性

：，、、

对气压的响应、对直流偏置电压的响应等关键特性，从而结合自激振荡理论，指导该传感器的驱动电路

ｍＶＶ

的设计与改进。该压力敏感芯体激励与输出信号分别为级、级的正弦波信号，信号发生器与示

μ

波器难以进行稳定精确的激励与测量使用矢量网络分析仪对某型硅谐振压力传感器进行稳定精确

、。、

的激励与测量得到了要实现传感器稳定工作驱动电路必须达到的幅频条件与相频条件等关键指标进

，，

而指导传感器的设计与应用。

关键词：硅谐振；压力传感器；自激振荡；幅频特性；相频特性

中图分类号：ＴＰ２１２文献标志码：Ａ文章编号：１０００－８８２９（２０２２）０９－００８４－０６

ｄｏｉ１０．１９７０８／ｊ．ｃｋｊｓ．２０２２．０２．２１２

：

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ｌｙ．Ｔｈｅｋｅｙｉｎｄｅｘｅｓｓ