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双位置反馈系统精度分析曹艳波。等

双位置反馈系统精度分析

ontheofDualPositionFeedback

AnalysisAccuracySystem

曹艳渡办夸旅春林唐左

(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033)

摘要：为提高精密仪器位移运动的位置精度，需对反馈控制系统进行设计选型。传统反馈元件旋转式电位器以其高可靠性被广泛

应用于位置反馈系统中，但是精度有限；直线光栅尺具有精度高和安装简易的特点，但是成本太高。通过对比测试旋转式电位器和研

究兼具电位器与光栅尺的双反馈系统，测量出各自的精度等级，从而为合理选择反馈系统提供依据。对比结果为精密仪器的位置反

馈系统的设计提供试验参考。

关键词：位置反馈系统精密仪器旋转电位器光栅尺精度分析

中图分类号：THTl2文献标志码：ADOI：10．160864．cnki．issnl000—0380．201503024

theofmotioninistoselectfeedback

Abstract：Fornecessary

improvingpositionaccuracydisplacementpreciseinstruments。itappropriate

controltraditionalfeedbackhavebeenusedinthefeedbackbecauseof

elements。thesystem

system．Therotarypotentiometemwidelyposition

theofwhicharethelinearfeaturesandtothecostistoo

theirmount。but

high他liability。butaccuracylimited；whilegratinghishaccuracyeasy

kindsoftheandthedualfeedbackbeth

someresearchingcomposingpotentiometer

high．Thloushinter-comporingrotarypotentiometerssystem

classisthebasisforfeedbackisresultof

andlinearsystemprovided．The

grating。respectiveaccuracymeasured-thusreasonablyselecting

testforfeedbackofinstruments．

reference

inter-comparisonprovidesdesigningpositionsystemprecise

feedbackPreciseinstrumentLinearanalysis

Keywords：PositionsystemRotarypotentiometergratingAccuracy

0引言