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集成微腔的光场成像研究文献综述

为了深入研究集成微腔内部光子与物质的相互作用，需要掌握特定谐振模式在腔内的光场分布情况，国内外科研人员在该领域进行了一系列的探索。

图11纳米金属尖端引起的磁扰动示意图[80]

Figure11Schemeofthemagneticperturbationinducedbythenanometricmetallictip[80]

a)带有磁场的金属尖端置于待测样品上

a)Ametallictipwithamagneticfieldplacedonthesamplesurfacetobetested

b)通过金属环的磁通量感应出磁矩

b)Magneticmomentinducedbythemagneticfluxthroughoutthemetallicring

2010年，意大利佛罗伦萨大学的研究人员利用近场扫描显微镜的金属探针测量嵌有量子点的光子晶体微腔[80]，其工作原理如图1-1所示。根据法拉第-诺依曼定律，探针尖端镀有铝膜的导电圆环会受到微腔外部的磁场而感应出电流。导电圆环会同时产生与感应磁场相反的磁矩，给光子晶体微腔的倏逝场引入了磁场微扰，从而造成腔内本征模式的频率偏移，精确测量频率的偏移量即可实现微腔内的光场成像。

根据以上原理，科研人员测量了光子晶体微腔的的发光光谱，得到两个不同频率的谐振模式，再利用金属探针在微腔四周近场扫描，测量出光谱强度的变化，得到两个不同模式的光场分布如图1-2b)和d)所示。通过与仿真结果对比，可以看到左侧实验结果在细节分辨上还有一定的提升空间。

探针近场扫描显微技术依靠提取倏逝波信息实现对微腔内部的光场成像，受到科研人员的追捧。然而，该技术需要灵敏度极高的精细探针去重构光场，附加复杂的反馈系统，在整个操作过程中需要精确控制探针，维持在纳米量级的高度不变。为了提高成像分辨率，需要探针尽可能的靠近腔体外表面。这一系列要求大大提高测量成本，也限制该技术的推广应用。对于具有超高Q值的谐振模式，探针对腔外倏逝波带来的微扰，会影响腔内模式的光场实际分布[81]。此外，对于镀有介质保护层的微腔，利用探针无法近距离地提取腔外呈指数衰减的倏逝场。因此，科研人员试图寻找其他办法替代类似的物理接触。

图12两个不同模式的实验和仿真光场分布图[80]

Figure12Twodifferentmodesofexperimentalandsimulatedfielddistribution[80]

a,b)两个不同模式的实验光场分布

a,b)Theexperimentalfielddistributionoftwodifferentmodes

c,d)两个对应模式的仿真光场分布

c,d)Thesimulatedfielddistributionoftwocorrespondingmodes

2012年，伦敦国王学院的R.Sapienza等人利用电子束扫描无源的光子晶体微腔[82]，探测出射的电子成功扫描到腔内多个谐振模式，另外也有一些课题组通过测量电子衰减的能量来描绘光场的分布[83-86]。

2016年，美国马里兰大学研究小组提出用聚焦的锂离子束作为“探针”去扫描硅基微腔表面[87]。采用离子束的优点是无需接触腔体的边缘，不会对腔外的倏逝场带来微扰，整个测量过程降低了对离子束“探针”的操作难度，测量装置和工作原理如图1-3a)所示。

一束激光从可调谐激光器输出经过光纤耦合进片上波导，再从侧边耦合进圆盘微腔中，在输出端被光电探测器接收。将锂离子束加速后聚焦在微盘腔表面，高能的锂离子将硅晶格打出空位缺陷。大量缺陷态会导致谐振模式的中心波长发生偏移，透射光谱的强度也随之变化。利用该方法，研究人员对圆形微腔内不同阶数的回音壁模式进行了光场分布测量。考虑到待测对象具有中心对称性，研究人员仅沿轴线方向测量了一维光场强度分布图。实验中选择三个不同的谐振模式，将其透射率的变化分别描绘成曲线，发现不同模式存在不同数量的峰值，结合模拟计算得到电场能量密度的强度分布图，可以判断该模式依次为基模、一阶模和二阶模。

图13聚焦离子束测量系统[87]

Figure13Focusedionbeammeasurementsystem[87]

a)测量装置示意图

a)Schematicofmeasuringdevice

b)微盘腔波导耦合结构电镜照片

b)TheSEMofthemicrodiskandcouplingwaveguide

c)微盘腔表面注入锂离子示意图

c)Schematicofl