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解析埋氧层应力对微悬臂梁加工断裂的作用机制与优化策略
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的进程中，微机电系统（MEMS）作为一门多学科交叉的前沿技术，正以前所未有的速度改变着人们的生活和生产方式。MEMS技术将微型机械结构、传感器、执行器以及信号处理和控制电路等集成在微小的芯片上，实现了传统机电系统无法达到的微型化、智能化和多功能化。从消费电子领域的智能手机、平板电脑和可穿戴设备，到汽车行业的压力传感器、加速度传感器和陀螺仪，再到医疗领域的生物传感器和微流控芯片，MEMS技术的应用无处不在，为各个领域的技术进步和创新发展提供了强大的动力。
微悬臂梁作为MEMS器件中常
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