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电光调制器结构研究现状文献综述

高速光电探测器测试系统是基于电光效应原理。在部分的晶体中存在电光效应，常用到的晶体有铌酸锂、钽酸锂等材料。电光效应具体是指，当对电光晶体施加的外电场，电压发生变化时，这些材料的折射率会发生相应变化，电光晶体的折射率的变化可以引起通过其光束特性变化，即可引起光强变化。实际应用中，高速电光采样系统对电光调制器的结构和功能有着严格的要求，电光调制器的性能直接影响到光电探测器的测试系统。电光调制器的传输线都有共同的特征是结构在一个平面上[1]，在集成的微波电路中，通常是使用微带线和共面波导，它们两个共同的优点是带宽高、体积小、重量轻、集成度高、设计相对简洁[2]，因此微带线及共面波导经常出现在各种微波集成电路中以及测试系统中，将共面波导、微带线应用在光电探测器测试系统中进行测试成为势在必行的工作。

1.1微带线的研究现状

微带线是20世纪60年代初发展起来的。微带线的发展是朝着低损耗方向进行的。随着半导体行业的进步，微带线也被广泛应用在微波电路中。随着高速器件测试系统的发展，微带线应用在高速器件的测试系统中。发展初期，光电探测器测试系统中的传输线以微带线为主。微带线使用薄膜工艺进行加工，材质一般选择的是介电常数高，较低损耗[3]，此类传输线具备导电率良好、稳定性能强等优点。

1952年，微带线的概念第一次被提出，并由H.A.Wheel的团队进行理论分析，采用的方法是复变函数，复变函数是假设准TEM模为微带线的传输方式，把微带线中传输波的色散和高次模忽略掉。但是微带线的频率提升，已经不能忽视传输中的色散现象。MittraR和ItchT于1971年阐述了他们在传输线领域的成果，采用的方法是利用微波理论对微带线进行分析，针对微带线的色散的问题，学者们采用的方式是混合模分析方法。微带线应用越来越广泛，也引起了各国学者的关注，纷纷进入了微带线的研究领域。其中有的研究员采用的是Galerkin方法来对微带线进行刨析，并且把问题进行了转换，把复杂的求解过程转化为谱频域中求解代数方程[4]。在国内，也开展了对微带线的研究，为了减小耦合微带线产生的干扰，在满足特征阻抗为50Ω匹配的条件下，安静等[5]建立了印刷电路板（PCB）微带线之间的测试结构，可以有效减小微带线之间的串扰程度；刘海文等[6]提出了一个缺陷单元种新颖的蝴蝶结形结构，可应用于紧凑结构的低通滤波器的设计，应用在集成电路上具有显著的优点，易于电磁场理论分析及等效电路的建模分析。

目前来看，微波平面传输线分析的方法比较成熟，但是微带线的应用并未普及。限制微带线发展的原因主要有：微带线设计的要求精度高，受到工艺本身的限制，精度也必将受到限制；表面镀覆多样化，对使用的环境复杂化，对工艺也提出了更高的要求；微带线应用到光电探测器测试系统中，存在的最大的缺点是损耗大，功率容量大，影响传输的效率，最终影响对高速光电探测器的测试结果，目前微带线的应用受到了限制，采用采样光束通过电极具有一定的宽度，难以满足光电探测器测试系统的要求，而且微带线对于加工条件要求过高，容易影响光电探测器的测试效果。所以在基于电光采样原理的光电探测器测试系统的一般不采用微带线电极结构。

1.2共面波导的研究现状

共面波导结构由介质基片上的中心导带和与中心导带同一侧的两个接地导电平面构成的。共面波导传播的是TEM波，由于中心导体与导体平板位于同一平面内，因此，有源或者无源的装置与其相连都是快捷方便的，利用共面波导可以集成微波电路。

在1969年Wen.C.P.[7]率先提出来共面波导的概念，共面波导看成一种集成传输线。经过多年的研究[8]，利用铌酸锂电光晶体材质，研制出共面波导，并与微带线调制器对比，证明共面波导的性能占优。研究员根据介质的厚度，采用了保角变换的理论对共面波导的特性进行了分析。紧接着，欧美研究院所开展对非对称共面波导的研究，对称共面波导的结构可以看作非对称共面波导的一种特殊形式。此后，TKitaZawa采用变分法研究了非对称共面波导；1993年意大利研究员G.Ghione[9]经过大量的实验研究，得出了关于非对称共面线和非对称共面彼导的研究成果。在国内，各路学者也对共面波导开展了研究。香港大学WhaHui[10]采用共面波导的电极结构，得到不同带宽分别所对应的半波电压。电子科技大学的曾山[11]采用保角变化理论对具有金属地板的非对称共面波导进了分析，并推到出参数的表达式。

共面波导的优点连接简单快捷，无论是有源或者无源的装置[12]；共面波导的发展是朝着高速、更长的间隔、更大的带宽、高度集成化集的趋势[13]。为了使得共面波导应用的更加广泛，在技术上也提出了更高的要求，但是共面波导存在加工周期长，所以获得共面波导结构参数之后使用电磁仿真软件，在人工设计的基础上进行仿真