测试技术与传感器课件：压电式传感器.pptxVIP

压电式传感器

7.1压电转换和压电材料

7.2压电传感器的测量电路

7.3压电传感器的应用思考题与习题;

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7.1压电转换和压电材料

7.1.1压电转换

考察压电材料的受压情况，如图7-1所示。设压电材料的压电常数为d,受压力F作用后产生电荷Q,则有

Q=d·F

(7-1)

式中，d为压电常数，单位是pC/N。;

F

Q;

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假设图7-1的受力方向为z方向，那么该压电材料在z方向

有压电效应。一般情况下，除了z方向的压电效应外，在y、x

方向及三个剪切方向上也有可能产生压电效应，为此，观察图7-2的压电微单元及受力模型。设在x、y、z三个方向产生的电荷分别为qq?和q?,其中，q?表示垂直于x方向的两个端面产生的电荷，q?表示垂直于y方向的两个端面产生的电荷，

q?表示垂直于z方向的两个端面产生的电荷。微单元上的作用力分别是正应力σ?、0?、o?和剪切力t?、T?、T?,统一用应力oj表示，σ=[o?O?O?T?T?T?]T,则微单元受力后产生的单位面积电荷可表示为

q=do;(7-2);

其中：d;表示在j方向受力，在i访向产生电荷的压电系数，这

里，正应力和剪切力统一用o表示。例如：d??表示z方向上的应力o?在y方向(q?)产生压电效应的压电系数；σ?表示x方向的剪切力t?等等。;

西安电子

T?

q3

西安电子科

92

T1

西电子科技;

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将式(7-2)写成矩阵的形式，有;

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实际应用时，往往没有那么复杂，比如，压电材料仅

仅在x方向受到力的作用，压电材料的电荷输出面是Z方向，则受x方向(拉、压)力作用后在z方向产生的电荷为q?=d3101。又如，受z方向力作用后在z方向产生的电荷为q?=d33O?。

表征压电材料压电性能的参数还有以下几种：

(1)压电电压常数：

式中，ε为压电材料的介电常数。;

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(2)压电应变常数：

h=g·E

式中，E为压电材料的弹性模量。

(3)机电耦合系数：;

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压电材料除压电常数外，还有其它几个比较重要的性能

指标，如压电材料的机械性能、压电系数???温度和时间稳定性、绝缘阻抗等。温度稳定性指的是温度变化时压电常数的变化情况，一般情况下，对于某种压电材料，当温度超过某一值时，压电性能会急剧下降，这个温度点又称居里点，居里点越高越好。时间稳定性表示压电特性随时间的衰减情况，这种衰减越小越好，因为衰减将导致输出的不确定，使传感器在某一精度范围内的标定时间缩短。;

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7.1.2石英的压电机理分析

石英的晶体结构为六方晶体系。其晶体结构、切片及坐标定义如图7-3所示。其坐标定义具体如下：

(1)x轴：两平行柱面内夹角的等分线，垂直此轴压电效应最强，又称为电轴。

(2)y轴：垂直于平行柱面，该轴方向在电场作用下变形最大，又称为机械轴。

(3)z轴：无压电效应，又称为中心轴。;

(a)(b)(c)(d)

图7-3石英的晶体结构及切片方式

(a)晶体结构；(b)沿轴切片；(c)压电片；(d)坐标定义;

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由于压电材料可能在多个方向上具有压电效应，所以，

为便于这些方向压电效应的具体应用，往往对压电材料采取不同的切片方式。图7-3(b)是沿垂直x轴的yOz平面切片，切片下来的压电片如图7-3(c)所示。如果集电荷的电极镀膜在垂直x轴的两个端面上，受力为x方向，则该压电片对应的压电系数是d?。

下面分析石英晶体(SiO?)的压电机理。由石英晶体的分子结构知，3个硅离子和6个成对的氧离子构成正六边形排列，如图7-4所示。;

图7-4石英的压电机理分析;

当石英晶体未受外力作用时，如图7-4(a)所示，一个正

离子Si+和两个负离子20-正好相间分布在正六边形的顶角上，形成3个大小相等、互成120°夹角的电偶极矩p?、P?、P?。未受力时，P?+P?+p?=0,这时，晶体表面不产生电荷。当x方向受压力作用时，如图7-4