TIH系列内联氟聚合物加热器技术规格与应用.pdfVIP

TIH系列内联氟聚合物加热器坚固设计，适用于最苛加热器尺寸：1,000瓦至13,500瓦

刻的循环或单次通过化学应用，可多年的无故障

性能。该加热器通常与化学浴或喷淋系统以及外部泵温度范围：最高可达180°C的化学反应保

/过滤器配合使用。加热器为、FPD、

修：一年

MEMS、生物医学及其他行业高纯度化学加热。

TIH系列应用包括：

•SC1（NH5Oiu）和过mhy氧dr化ox氢id（H2O2）*

：氨

•SC2：盐酸（HCL）和过氧化氢

•缓冲氧化物蚀刻（BOE）工艺：氟化氢（HF）和氟

化铵（NH4F）

•氮化物刻蚀/剥离：磷酸（H3PO4）和水（H2O）

•各种酸包括：盐酸

（HCl）氢氟酸（HF）

醋酸（C2H4O2）*硝酸

（HNO3）硫酸

（H2SO4）

•硫酸和过氧化氢

•硫酸和臭氧（O3）

•氢氟酸和乙二醇

•氢氧化钾（KOH）*

•氢氧化钠（NaOH）*

•无电解镍*

•无电解铜*

•无电解金*

•去离子水*

•某些溶剂*（工厂）(*建议但不要求这些化学物

质使用净化元件选项)

规格：

服务：内联化学加热器，所有与液体接触的表面均为氟

聚合物，适用于几乎所有的湿化学应用

认证：CE、UL和Semi

S2功能：

•.030”（.76mm）聚护套加热元件，使用

长

•专利的“气体净化”元件设计

•定制的管道连接

•坚固的厚壁结构

流体连接选项：

•1⁄2英寸至1英寸Flaretek®连接

•1⁄2英寸至1英寸SuperTypePillar®连接

•1/2英寸至1英寸超级300型柱连接®

安全特性：

•接地的、聚包覆元件

•可选的电容式液位验证

•过程温度传感器（为聚包覆的“J”型热

电偶）

•加热元件过温传感器（为聚包覆的“E”

型热电偶）

•加热器吹扫和（可选控制包的一部分）

最大工作：环境温度下为70PSI，180°C时为30PSI

可用加热器电压：120至600伏，单相或三相（10kW及以上

需要三相）

2

功率密度：每平方英寸10瓦（1.5瓦/厘米）

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