CN116026489B 金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法 （武汉大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN116026489B(45)授权公告日2025.07.11

(21)申请号202310142659.X

(22)申请日2023.02.21

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN116026489A

(43)申请公布日2023.04.28

(73)专利权人武汉大学

地址430072湖北省武汉市武昌区八一路

299号

(51)Int.CI.

G01K11/22(2006.01)

(56)对比文件

CN108489634A,2018.09.04

CN113584443A,2021.11.02审查员肖志杨

(72)发明人瓦西里·帕里诺维奇许畅杨兵曾晓梅张翔宇姜杨慧王晨阳张俊黄家辉

(74)专利代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)42222

专利代理师杨震

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

40时间，μ

40

时间，μs

(57)摘要

超声信号,VCN116026489B本申请公开了金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法。该温度传感器的材料为金属氮化物的压电涂层，通过涂层表面所激发的超声波的变化(包括压电信号强度、声时延迟、声波频率大小)表征温度的变化，以实时反馈出待测温度。本技术方案提供了宽温域范围内稳定运行的金属氮化物薄膜超声波温度传感器，实时监测温

超声信号,V

CN116026489B

CN116026489B权利要求书1/1页

2

1.一种金属氮化物薄膜超声波温度传感器，其特征在于，该温度传感器主体为氮化物的压电涂层，通过所激发的超声波参数的变化实时表征温度的变化，以在线反馈出待测温

度；

压电涂层为金属氮化物，金属氮化物为A1N或AlScN,厚为12-20微米；压电涂层的表面覆有电极层；金属氮化物的压电涂层、电极层的制备方式为射频磁控溅射；

AlN压电涂层沉积参数如下：采用A1靶，射频磁控溅射的功率为600-1000W,沉积气压为0.5-4Pa,Ar/0?为1/3-4/1,腔内温度为80-250℃,沉积时间为2h-10h,靶材与基底间距为2cm-7cm;

A1ScN压电涂层沉积参数如下：采用用A1:Sc=1:9~5:5的混合靶材，射频磁控溅射的功率为600-1000W,沉积气压为0.5-4Pa,Ar/0?为1/2-4/1,腔内温度为80-250℃,沉积时间为2h-10h,靶材与基底间距为2cm-7cm;

电极层为Ag或Cr,厚15-25微米，沉积参数如下：采用高纯Ag靶或Cr靶，射频磁控溅射功率为500-1000W,沉积气压为0.5-3Pa,纯氩气，腔内温度为80-250℃,沉积时间为2h-10h,靶材与基底间距为2cm-7cm。

2.一种测温方法，其特征在于，采用如权利要求1所述金属氮化物薄膜超声波温度传感器来实施，实施的过程包括以下步骤：

(1)提供覆于待测物体上的所述金属氮化物压电涂层，所述压电涂层的表面覆有电极层，以形成金属氮化物薄膜超声波温度传感器；

(2)使所述待测物与所述金属氮化物薄膜超声波温度传感器进行退火；

(3)测量超声波参数的变化；

(4)根据超声波参数的变化，反映温度的变化，以实现温度实时测量。

3.根据如权利要求2所述测温方法，其特征在于，退火炉温度的上升速率为2℃/min-5℃/min,最高温度为400-1000℃。

CN116026489B说明书1/4页

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金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法

技术领域

[0001]本申请涉及温度测量的技术领域，尤其涉及氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法。

背景技术

[0002]航空航天发动机等长期在高温、高压、高负荷、高转速状态下工作，会导致热端部件的可靠工作寿命减少，材料强度降低导致热端材料蠕变甚至发生断裂，造成严重的后果。因而准确测量部件所处温度，实现性能监控、寿命预测，减少因为高温造成的事故，具有重要意义。

[0003]针对航空发动机内部的复杂环境，已开发出了多种测温技术。最成熟的有晶