CN112485468B 基于频率调制的多轴感测装置及其操作方法 （恩智浦美国有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112485468B(45)授权公告日2025.07.15

(21)申请号202010842619.2

(22)申请日2020.08.20

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112485468A

(43)申请公布日2021.03.12

(30)优先权数据

16/547,6872019.08.22US

(73)专利权人恩智浦美国有限公司地址美国德克萨斯州

(72)发明人邵鹏

(51)Int.CI.

GO1P15/097(2006.01)

GO1P15/18(2013.01)

G01C19/5747(2012.01)

G01C19/5656(2012.01)

G01P3/48(2006.01)

(56)对比文件

CN102539832A,2012.07.04

US2010116050A1,2010.05.13审查员刘晓华

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021专利代理师孙尚白

权利要求书4页说明书14页附图6页

(54)发明名称

基于频率调制的多轴感测装置及其操作方

法

(57)摘要

CN112485468B一种MEMS装置包括第一惯性质量系统和第二惯性质量系统，第一惯性质量系统具有彼此弹性地耦接的第一驱动质量块和第一感测质量块，第二惯性质量系统具有彼此弹性地耦接的第二驱动质量块和第二感测质量块。第一驱动质量块和第二驱动质量块沿平行于衬底的表面的第一轴经历反相驱动运动。第一感测弹簧和第二感测弹簧锚固并悬挂与衬底的表面间隔开的第一感测质量块和第二感测质量块。第一感测弹簧和第二感测弹簧响应于绕垂直于表面的第三轴的角旋转而实现第一感测质量块和第二感测质量块沿平行于表面的第二轴的反相感测运动。第一感测弹簧和第二感测弹簧另外响应于沿第二轴的

CN112485468B

CN112485468B权利要求书1/4页

2

1.一种微机电系统多轴感测装置，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底具有表面；

第一惯性质量系统，所述第一惯性质量系统包括第一驱动质量块和弹性地耦接到所述第一驱动质量块的第一感测质量块；

第二惯性质量系统，所述第二惯性质量系统包括第二驱动质量块和弹性地耦接到所述第二驱动质量块的第二感测质量块，所述第一驱动质量块和所述第二驱动质量块被配置成沿朝向平行于所述衬底的所述表面的第一轴经历反相驱动运动；

第一感测弹簧，所述第一感测弹簧被配置成锚固并悬挂于与所述衬底的所述表面间隔开的所述第一感测质量块；以及

第二感测弹簧，所述第二感测弹簧被配置成锚固并悬挂于与所述衬底的所述表面间隔开的所述第二感测质量块，所述第一感测弹簧和所述第二感测弹簧响应于绕垂直于所述衬底的所述表面的第三轴的角旋转而实现所述第一感测质量块和所述第二感测质量块沿平行于所述衬底的所述表面且垂直于所述第一轴的第二轴的反相感测运动，并且所述第一感测弹簧和所述第二感测弹簧另外响应于沿所述第二轴的线性加速度而实现所述第一感测质量块和所述第二感测质量块沿所述第二轴的同相感测运动；

第一谐振器梁，所述第一谐振器梁通过所述第一感测弹簧中的一个第一感测弹簧弹性地耦接到所述第一感测质量块，所述第一谐振器梁被配置成响应于所述第一感测质量块沿所述第二轴的移动而经历第一轴向应力；

第二谐振器梁，所述第二谐振器梁通过所述第一感测弹簧中的另一个第一感测弹簧弹性地耦接到所述第一感测质量块，所述第二谐振器梁被配置成响应于所述第一感测质量块沿所述第二轴的所述移动而经历第二轴向应力；

第三谐振器梁，所述第三谐振器梁通过所述第二感测弹簧中的一个第二感测弹簧弹性地耦接到所述第二感测质量块，所述第三谐振器梁被配置成响应于所述第二感测质量块沿所述第二轴的移动而经历第三轴向应力；以及

第四谐振器梁，所述第四谐振器梁通过所述第二感测弹簧中的另一个第二感测弹簧弹性地耦接到所述第二感测质量块，所述第四谐振器梁被配置成响应于所述第二感测质量块沿所述第二轴的所述移动而经历第四轴向应力。

2.根据权利要求1所述的微机电系统多轴感测装置，其特征在于，所述衬底、所述第一惯性质量系统和所述第二惯性质量系统以及所述第一感测弹簧和所述第二感测弹簧并置在封装装置的空腔中，所述空腔处