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用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液.doc

用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液.doc

    用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    磨料

    粒径60nm的SiO2水溶胶颗粒

    2

    －

    －

    －

    粒径30nm的Al2O3水溶胶颗粒

    －

    5

    －

    －

    粒径30nm的SiO2水溶胶颗粒

    －

    －

    4

    －

    粒径130nm的SiO2水溶胶颗粒

    －

    －

    －

    2

    螯合剂

    乙二胺四乙酸

    1

    －

    0.5

    －

    二亚乙基三胺五乙酸

    －

    0.5

    －

    －

    三亚乙基四胺六乙酸

    －

    －

    －

    0.5

    分散剂

    环氧乙烷-环氧丙烷嵌段共聚物

    2

    －

    －

    －

    聚乙二醇

    －

    2

    －

    －

    聚乙烯胺

    －

    －

    0.5

    －

    聚丙烯酸

    －

    －

    －

    1

    活性剂

    脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚

    2

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