化学机械抛光液13.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

11#

12#

研

磨

颗

粒

SiO2（70nm）

2

－

－

－

－

－

2

－

2

－

2

－

Al2O3（30nm）

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

Al2O3（100nm）

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚苯乙烯（分子量400000）（120nm）

－

－

－

0.3

－

－

－

－

－

－

－

－

聚乙烯（分子量200000）（100nm）

－

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

聚苯乙烯（分子量500000）（200nm）

－

－

－

－

－

10

－

－

－

－

－

－

SiO2（20nm）

－

－

－

－

－

－

－

0.1

－

0.1

－

0.1

摩

擦

调

节

剂

羟乙基纤维素（DP1000）

0.01

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸（分子量5000）

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

羟甲基纤维素（DP15000）

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

羧甲基纤维素（DP2000）

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

丙三醇

―

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

丙二醇甲醚

－

－

－

－

－

10

－

－

－

－

－

－

丙二醇乙醚

－

－

－

－

－

－

15

－

－

－

－

－

羧乙基纤维素（DP15000）

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

－

－

－

聚丙烯酸钾（分子量1000）

－

－

－

－

－

－

－

－

10ppm

－

－

－

聚甲基丙烯酸（分子量1000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

100ppm

－

－

聚甲基丙烯酸钾（分子量1000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1000ppm

－

聚丙烯酸钠（分子量3000000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

5000ppm

络

合

剂

甘氨酸

4

－

4

－

2

－

4

－

4

－

4

－

2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸

－

0.1

－

1

－

3

－

0.2

－

0.2

－

0.2

氧

化

剂

过氧化氢

5

－

－

－

－

－

5

－

－

－

－

－

过硫酸铵

－

3

－

3

－

10

－

－

－

3

－

10

过硫酸钾

－

－

2

－

－

－

－

－

2

－

－

－

过氧乙酸

－

－

－

－

2.5

－

－

－

－

－

2.5

－

过氧化氢脲

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

其它

异噻唑啉酮

－

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

十二烷基二甲基苄基氯化铵

－

－

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

－

尿素

－

－

－

0.02

－

－

－

－

－

－

－

－

去离子水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

20#

21#

22#

23#

研磨

颗粒

SiO2（70nm）

2

－

2

2

2

2

2

2

2

2

2

SiO2（20nm）

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

摩

擦

调

节

剂

聚乙基丙烯酸铵（分子量1000000）

1000ppm

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸甲酯（分子量1000000）

－

3000ppm

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚丙基丙烯酸（分子量2000000）

－

－

7000ppm

－

－

－

－

－

－

－

－

聚（p-苯乙烯羧酸）（分子量1000000）

－

－

－

3000ppm

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸乙酯（分子量1000000）

－

－

－

－

3000ppm

－

－

－

－

－

－

聚酰胺酸（分子量1000000）

－

－

－

－

－

3000ppm

－

－

－

－

－

聚丙烯酸铵（分子量1000000）

－

－

－

－

－

－

3000ppm

－

－

－

－

聚丙烯酸酰胺（分子量1000000）

－

－

－

－

－

－

－

3000ppm

－

－

－

氨基聚丙烯酸酰胺（分子量1000000）

－

－

－

－

－

－

－

－

3000ppm

－

－

聚酰胺酸铵（分子量1000000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

3000ppm

－

聚酰胺酸钾（分子量1000000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

3000ppm

络

合

剂

甘氨酸

4

－

4

4

4

4

4

4

4

4

4

2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸

－

0.2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

氧

化

剂

过氧化氢

5

－

5

5