化学机械抛光液11.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

研

磨

颗

粒

二氧化铈（50nm）

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

覆盖铝的二氧化硅（70nm）

－

15

－

－

－

－

－

－

－

聚甲基丙烯酸甲酯（150nm）

－

－

10

－

－

－

－

－

－

三氧化二铝（30nm）

－

－

－

8

－

－

0.2

－

－

二氧化钛（150nm）

－

－

－

－

10

－

－

－

－

掺杂铝的二氧化硅（20nm）

－

－

－

－

－

30

－

－

－

二氧化硅（70nm）

－

－

－

－

－

－

－

5

－

二氧化硅（100nm）

－

－

－

－

－

－

－

－

2

唑

类

化

合

物

1,2,4-三氮唑-3-羧酸

0.0001

－

－

－

－

－

－

－

－

苯并三氮唑

－

0.001

－

－

－

－

－

－

－

1,2,3-三氮唑

－

－

10

－

－

－

－

－

－

5-苯基-四氮唑

－

－

－

5

－

－

－

－

－

3-硝基-1,2,4-三氮唑

－

－

－

－

1

－

－

－

－

5-氯代苯并三氮唑

－

－

－

－

－

2

－

－

－

5-甲基苯并三氮唑钾盐

－

－

－

－

－

－

0.1

－

－

1,2,4-三氮唑-3-甲酰胺

－

－

－

－

－

－

－

0.05

－

4-羟基苯基-5-巯基-四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

10#

11#

12#

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

研

磨

颗

粒

二氧化硅（100nm）

2

2

－

－

－

－

－

－

－

－

二氧化硅（120nm）

－

－

1

1

1

1

－

－

－

－

二氧化硅（45nm）

－

－

－

－

－

－

0.5

0.5

0.5

－

聚甲基丙烯酸甲酯（150nm）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

20

唑

类

化

合

物

5-氨基1,2,4-三氮唑-3-羧酸甲酯

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1H-四氮唑-5-甲酸乙酯

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

1-甲基-5-巯基-1H-四氮唑

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

5-氯甲基-1H-四氮唑

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

5-苄基四氮唑

－

－

－

－

1

－

－

－

－

－

5-苄硫基四氮唑

－

－

－

－

－

1

－

－

－

－

2-甲基-5-氨基-2H-四氮唑

－

－

－

－

－

－

5

－

－

－

5-乙硫基四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

10

－

－

1-羟乙基-5-巯基-四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

－

15

－

1-乙基-5-巯基-四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.0001

1,2,4-三氮唑-3-羧酸甲酯

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.01

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

制备方法将各组分混合均匀，采用氢氧化钾和硝酸调节至合适的PH值即可得到抛光液。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：研磨颗粒0.1~30、唑类化合物0.0001~20、水余量。

所述研磨颗粒可选自二氧化硅、氧化铝、掺杂铝的二氧化硅、覆盖铝的二氧化硅、二氧化铈、二氧化钛和高分子研磨颗粒中的一种或多种。所述的研磨颗粒的粒径较佳的为20~150nm，更佳的为30~120nm。

所述的唑类化合物较佳的为三氮唑及其衍生物和盐、以及四氮唑及其衍生物和盐中的一种或多种。所述的三氮唑及其衍生物较佳的为1,2,3-三氮唑、5-巯基-1,2,3-三氮唑、苯并三氮唑、5-氯代苯并三氮唑、5-羧基苯并三氮唑、5-甲基苯并三氮唑、1,2,4-三氮唑、1,2,4-三氮唑-3-甲酸胺、1,2,4-三氮唑-3-羧酸、3-巯基-1,2,4-三氮唑、3-氨基-1,2,4-三氮唑、3-氨基-1,2,4-三氮唑-5-羧酸、3-氨基-5-巯基-1,2,4-三氮唑、3-硝基-1,2,4-三氮唑、4-氨基-1,2,4-三氮唑、3-巯基-4-甲基-1,2,4-三氮唑、3,5-二氨基-1,2,4-三氮唑、1,2,4-三氮唑-3-羧酸甲酯和5-氨基-1,2,4-三氮唑-3-羧酸甲酯中的一种或多种。其中，所述的四氮唑及其衍生物较佳为1H-四氮唑、1H-四氮唑-5-甲酸乙醋、5-苯基-四氮唑、5-甲基-四氮唑、1-甲基-5-巯基-1H-四氮唑、5-氯甲基-1H-四氮唑、5-苄基四氮唑、5-苄硫基四氮唑、5-氨基四氮唑、2-甲基-5-氨基-2H-四氮唑、5-甲硫基四氮唑、5-乙硫基四氮唑、l-羟乙基-5-巯基-四氮唑、1-苯基-5-巯基-四氮唑、四氮唑乙酸、1-乙基-5-巯基