化学机械抛光液34.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

研磨剂

硅溶胶

1.5

1.5

1.7

1.7

1.5

4

1.5

1

－

－

气相二氧化硅

－

－

－

－

－

－

－

－

1.7

0.2

氧化剂

硝酸铁

1

1.5

0.2

0.15

0.2

0.2

0.15

0.15

0.15

0.05

单过硫酸氢钾

3.33

5

5

5

3.33

5

5

5

稳定剂

丙二酸

0.2

0.3

0.09

0.18

0.18

0.14

0.14

0.14

0.05

0.05

表面活性剂

十二烷基三甲基氯化铵

200

ppm

100

ppm

200

ppm

－

－

－

20

1ppm

500

ppm

－

－

苄基三甲基氯化铵

－

－

－

100ppm

－

－

－

－

－

－

辛基三甲基氯化铵

－

－

－

－

300ppm

－

－

－

－

－

3-三乙氧基硅基丙基三甲基氯化铵

－

－

－

－

－

200ppm

－

－

－

－

十八烷基胺聚氧乙烯醚双季铵盐

－

－

－

－

－

－

－

－

200ppm

－

聚季铵盐-10

－

－

－

－

－

－

－

－

－

200ppm

去离子水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

制备方法将各组分在去离子水中混合均匀，用氢氧化钾或稀硝酸调到所需的PH值，即制得抛光液。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：研磨剂0.2~4、氧化剂0.05~1.5、稳定剂0.05~0.3、表面活性剂100~500ppm、去离子水余量。

所述研磨剂为气相二氧化硅和/或硅溶胶。

所述氧化剂为含铁氧化剂或含铁氧化剂和其他氧化剂的组合物。

所述的含铁氧化剂为硝酸铁，所述的含铁氧化剂和其他氧化剂的组合为硝到铁和单过硫酸氢钾的组合物。

所述表面活性剂为长链烷基氯化铵、长链烷基溴化铵、末端含硅氧键的长链烷基氯化铵、吉米奇类型季铵盐、聚合型季铵盐中的一种或多种。

所述表面活性剂优选十二烷基三甲基氯化铵、十二烷基三甲基溴化铵、苄基三甲基氯化铵、辛基三甲基氯化铵、3-三乙氧基硅基丙基三甲基氯化铵、十八烷基胺聚氧乙烯醚双季铵盐和/或聚季铵盐-10中的一种或多种。

所述抛光液的PH值为1.5~2.5。

产品应用本品主要用作化学机械抛光液。

产品特性通过在用于钨化学抛光液中加入阳离子表面活性剂，显著降低并消除抛光噪音，改善操作环境，降低抛光垫的摩擦，延长抛光垫的使用寿命。

参考文献中国专利公告CN－200910200315.X