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用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液.doc

用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液.doc

    用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    磨料

    18

    10

    15

    20

    6

    10

    7

    氧化剂

    25

    30

    23

    10

    30

    28

    15

    稳定剂

    3

    3

    5

    3

    2

    1.4

    3.5

    分散剂

    1

    1

    1

    10

    8

    3

    8

    催化剂

    2.5

    4.5

    3.5

    5

    20

    2.7

    4

    去离子水

    50.5

    51.5

    52.5

    52

    34

    54.9

    62.5

    制备方法

    （1）将磨料加入到去离子水中，超声波搅拌10~30分钟，使得磨料在去离子水中充分分散，配制成悬浮液；

    （2）在悬浮液中加入氧化剂和催化剂，进行加热的同时超声波搅

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