化学机械抛光液5.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

11#

12#

SiO2

0.1

1

－

－

－

－

－

－

0.1

2

5

8

Al2O3

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

CeO2

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

TiO2

－

－

－

－

8

－

－

－

－

－

－

－

掺杂Al的SiO2

－

－

－

－

－

10

－

－

－

－

－

－

覆盖Al的SiO2

－

－

－

－

－

－

15

－

－

－

－

－

聚甲基丙烯酸甲酯

－

－

－

－

－

－

－

20

－

－

－

－

羟基亚乙基二膦酸

0.01

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

氨基三亚甲基膦酸

－

0.1

－

－

－

－

－

－

0.01

－

－

－

乙二胺四亚甲基膦酸

－

－

0.2

－

－

－

－

－

0.1

－

－

－

H2O2

－

－

0.2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

二亚乙基三胺五亚甲基膦酸

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

－

－

苯并三氮唑

－

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

多元醇膦酸酯（POE）

－

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

乙二胺四乙酸（EDTA）

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

－

2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸

－

－

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

异噻唑啉酮杀菌剂

－

－

－

－

－

0.005

－

－

－

－

－

－

2-羟基膦酰基乙酸

－

－

－

－

－

－

3

－

－

－

－

－

多氨基多醚基四亚甲基膦酸

－

－

－

－

－

－

－

4

－

－

－

－

聚马来酸（分子量500）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

－

聚环氧琥珀酸（分子量5000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

－

聚天冬氨基（分子量4000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

3

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

20#

21#

22#

23#

24#

SiO2

10

10

15

15

20

1

0.1

1

2

5

8

10

聚丙烯酸（分子量5000）

4

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸（分子量20000）

－

4

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸钠（分子量20000）

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸铵（分子量5000）

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

水解聚马来酸（分子量200）

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

－

－

－

聚天冬氨酸（分子量4000）

－

－

－

－

－

0.01

－

－

－

－

－

－

聚环氧琥珀酸（分子量4000）

－

－

－

－

－

－

2.5

－

－

－

－

－

马来酸酐-丙烯酸共聚物（分子量4000）

－

－

－

－

－

－

－

3.5

－

－

－

－

丙烯酸-丙烯磺酸-异丙烯磷酸共聚物（分子量4000）

－

－

－

－

－

－

－

－

4.5

－

－

－

膦酸基聚丙烯酸（分子量4000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.05

－

－

丙烯酸-丙烯磺酸钠-异丙烯磷酸共聚物（分子量4000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.2

－

聚天冬氨酸（分子量3000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

聚环氧琥珀酸（分子量5000）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

25#

26#

27#

28#

29#

30#

31#

32#

33#

34#

35#

36#

37#

38#

SiO2

20

15

0.1

1

2

5

10

20

0.1

1

2

5

20

10

乙醇

0.1

－

―

―

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

丙醇

－

1

－

－

－

－

－

2

－

－

－

－

－

－

异丙醇

－

－

2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丁醇

－

－

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

异丁醇

－

－

－

－

10

－

－

2

－

－

－

－

－

－

乙二醇

－

－

－

－

－

20

－

－

－

－

－

－

－

－

丙三醇

－

－

－

－

－

－

15

－

－

－

－

－

－

－

葡萄糖酸

－

－

－

－

－

－

－

－

0.01

－

－

－

－

－

果糖

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1

－

－

15

－

甘露糖

－

－

－