化学机械抛光液24.docVIP

化学机械抛光液

原料配比

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10#

11#

研

磨

颗

粒

二氧化铈（50nm）

0.1

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

聚苯乙烯（120nm）

－

5

－

－

－

－

－

－

－

－

－

二氧化钛（150nm）

－

－

10

－

－

－

－

－

－

－

－

掺杂铝的二氧化硅（20nm）

－

－

－

20

－

－

－

－

－

－

－

三氧化二铝（30nm）

－

－

－

－

30

－

－

－

－

－

－

覆盖铝的二氧化硅（70nm）

－

－

－

－

－

1

－

－

－

－

－

二氧化硅（80nm）

－

－

－

－

－

－

3

3

3

－

－

二氧化硅（100nm）

－

－

－

－

－

－

－

－

－

2

2

含

颜

料

亲

和

基

团

的

星

型

聚

合

物

丙烯酸甲酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn＝10000

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn＝5000

－

3

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸甲酯与丙烯酸羟乙酯的星型共聚物Mn＝5000

－

－

0.5

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酸的星型共聚物Mn＝2500

－

－

－

0.001

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与甲基丙烯酸的星型共聚物Mn＝15000

－

－

－

－

1

－

－

－

－

－

－

丙烯酸与丙烯酸酰胺的星型共聚物Mn＝5000

－

－

－

－

0.01

－

－

－

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn＝5000

－

－

－

－

－

1

－

－

－

－

甲基丙烯酸乙酯与甲基丙烯酸羟乙酯的星型共聚物Mn＝15000

－

－

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

丙烯酸甲酯、丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星型共聚物Mn＝30000

－

－

－

－

－

－

－

0.0005

－

－

－

对甲基苯乙烯与环氧乙烷的二元星型共聚物Mn＝10000

－

－

－

－

－

－

－

－

0.001

－

－

丙烯酸丁酯、丙烯酰胺和丙烯酸的三元星型共聚物Mn=10000

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.005

－

苯乙烯与环氧乙烷的二元星型共聚物Mn＝8000

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.0005

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

12#

13#

14#

15#

16#

17#

18#

19#

20#

21#

22#

研

磨

颗

粒

二氧化硅（80nm）

3

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

二氧化硅（100nm）

－

－

－

10

20

3

3

3

3

3

3

三氧化二铝（50nm）

－

1

1

－

－

－

－

－

－

－

－

含

颜

料

亲

和

基

团

的

星

型

聚

合

物

甲基丙烯酸与甲基丙烯酸羟乙酯的星型共聚物Mn＝3000

2

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯和苯乙烯的三元星型共聚物Mn=50000

－

0.05

－

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸丙酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn=5000

－

－

0.8

－

－

－

－

－

－

－

－

丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯和丙烯的三元星型共聚物Mn=6000

－

－

－

0.005

－

－

－

－

－

－

－

甲基丙烯酸甲酯与环氧乙烷的二元星型共聚物Mn=10000

－

－

－

－

0.0005

－

－

－

－

－

－

苯乙烯与丙烯酸羟乙酯的二元星型共聚物Mn=6000

－

－

－

－

－

0.5

－

－

－

－

－

甲基丙烯酸丙酯和甲基丙烯酰胺的星型共聚物Mn=800

－

－

－

－

－

－

3

－

－

－

－

丙烯酸甲酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn=3000

－

－

－

－

－

－

－

2

－

－

－

丙烯酸羟乙酯与丙烯酰胺的星型共聚物，Mn=5000

－

－

－

－

－

－

－

－

1

－

－

丙烯酸丁酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn=6000

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1

－

丙烯酸乙酯与丙烯酰胺的星型共聚物Mn=3000

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

1

添加剂

甲基纤维素

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.01

聚硅烷消泡剂

－

－

－

－

－

－

－

－

－

－

0.01

水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

制备方法将各组分混合均匀，采用氢氧化钾和硝酸调节至合适的PH值即可。

原料配伍本品各组分质量份配比范围为：研磨颗粒0.1~30、含颜料亲和基团的星型聚合物0.0005~3、添加剂0~0.01、水余量。

所述的研磨颗粒为本领域