化学机械抛光液23.docVIP

化学机械抛光液

原料配比续上表

原料

配比（质量份）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

SiO2

磨

料

颗

粒

二聚哑铃形（10nm）

1

－

－

－

－

－

－

－

－

多聚链形（20nm）

－

5

－

－

－

－

－

－

－

二聚哑铃形（50nm）

－

－

4

－

－

－

－

－

－

多聚链形（80nm）

－

－

－

2

－

－

－

－

－

二聚哑铃形（30nm）

－

－

－

－

10

－

－

－

－

多聚链形（100nm）

－

－

－

－

－

15

－

－

－

多聚链形（50nm）

－

－

－

－

－

－

18

－

－

二聚哑铃形（80nm）

－

－

－

－

－

－

－

20

－

多聚链形（90nm）

－

－

－

－

－

－

－

－

8

表

面

活

性

剂

聚乙烯亚胺（数均分子量2000）

0.001

－

－

－

－

－

－

－

－

十六烷基三甲基氯化铵

－

50

－

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸聚合物（数均分子量1000）

－

－

0.005

－

－

－

－

－

－

聚丙烯酸共聚物（数均分子量5000）

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

聚乙二醇（数均分子量200）

－

－

－

－

－

0.008

－

－

－

聚乙二醇（数均分子量20000）

－

－

－

－

－

－

－

－

0.04

椰油酰胺丙基甜菜碱

－

－

－

－

－

－

0.01

－

－

聚氧乙烯醚（HLB值5）

－

－

－

－

－

－

－

0.02

－

聚乙烯亚胺（数均分子量5000）

－

－

－

0.05

－

－

－

－

－

氧

化

剂

过氧乙酸

－

5

－

―

－

－

－

5

－

过氧化氢

－

－

－

－

0.1

－

－

－

－

过硫酸钾

－

－

－

－

－

－

－

－

10

过氧化氢脲

－

－

－

－

－

1

－

－

－

过氧化苯甲酰

－

－

－

－

－

－

2

－

－

硝酸铵

－

－

2

－

－

―

－

－

－

成

膜

剂

三唑

－

－

0.05

－

－

－

－

－

－

1H-四唑

－

－

－

0.25

－

－

－

－

－

1H四氮唑

－

－

－

－

－

－

－

－

0.1

N-甲基苯三唑

－

－

－

－

－

－

－

0.5

－

5-甲基-四氮唑

－

－

－

－

－

1

－

－

－

甲基苯并三氮唑

－

－

－

－

－

－

0.05

－

－

吲唑

－

－

－

－

0.001

－

－

－

－

螯

合

剂

聚丙烯酸钠盐（数均分子量1000）

－

－

－

0.05

－

－

－

－

－

嘧啶

－

－

－

－

－

0.1

－

－

－

环已胺

－

－

－

－

－

－

－

－

2

羟基亚乙基二膦酸

－

－

－

－

0.001

－

－

－

－

二乙烯三胺

－

－

－

－

－

－

0.2

－

－

聚丙烯酸（数均分子量5000）

－

－

－

－

－

－

－

1.5

－

去离子水

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

余量

续上表

原料

配比（质量份）

10#

11#

12#

13#

14#

15#

16#

17#

SiO2

磨

料

颗

粒

二聚哑铃形（150nm）

12

－

－

－

－

－

－

－

二聚哑铃形（30nm）

－

－

－

－

－

－

－

10

二聚哑铃形（100nm）

－

16

－

－

－

－

－

－

多聚链形（70nm）

－

－

19

－

－

－

－

－

二聚哑铃形（50nm）

－

－

－

3

－

－

－

－

多聚链形（80nm）

－

－

－

－

5

－

－

－

多聚链形（50nm）

－

－

－

－

－

－

－

－

二聚哑铃形（120nm）

－

－

－

－

－

15

－

－

多聚链形（40nm）

－

－

－

－

－

－

9

－

表

面

活

性

剂

十六烷基三甲基氯化铵

0.03

－

－

0.07

－

－

－

－

聚氧乙烯醚（HLB值15）

－

0.06

－

－

－

－

－

－

聚乙烯亚胺（数均分子量3000）

－

－

0.08

－

－

－

－

－

聚氧乙烯醚（HLB值10）

－

－

－

－

0.08

－

－

－

聚乙二醇（数均分子量15000）

－

－

－

－

0.004

－

－

聚乙烯亚胺（数均分子量5000）

－

－

－

－

－

－

0.008

－

聚乙烯亚胺（数均分子量7000）

－

－

－

－

－

－

－

0.015

氧

化

剂

过硫酸铵

8

－

－

－

－

4

－

－

硝酸铵

－

6

－

－

－

－

6

－

过氧化氢

－

－

3

0.5

－

－

－

0.1

过氧化苯甲酰

－

－

－

－

2

－

－

－

成

膜

剂

苯并咪唑

0.4

－

－

－

－

－

－

－

吲哚

－

0.2

－

－

－

－

－

－

1-苯基-5巯基四氮唑

－

－

0.6

－

－

－

－

－

羧基取代的苯并三唑甲酯

－

－

－

0.005