CN116387404A 一种光伏电池及其制作方法 （天合光能股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN116387404A(43)申请公布日2023.07.04

(21)申请号202310396166.9

(22)申请日2023.04.13

H01L21/288(2006.01)

(71)申请人天合光能股份有限公司

地址213031江苏省常州市新北区天合光

伏产业园天合路2号

申请人天合光能(常州)科技有限公司

(72)发明人高纪凡李宏伟刘仲雨王尧

王子港张学玲陈达明

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112

专利代理师彭瑞欣王婷

(51)Int.CI.

HO1L31/18(2006.01)

HO1L31/0224(2006.01)

HO1L31/06(2012.01)

权利要求书1页说明书7页附图7页

(54)发明名称

一种光伏电池及其制作方法

(57)摘要

CN116387404A本发明提供一种光伏电池及其制作方法，该方法包括：在电池基体的两侧表面形成电镀种子图案，电池基体包括衬底、第一掺杂层和第二掺杂层，第一掺杂层与第二掺杂层的掺杂极性相异且分别层叠设置于衬底的两侧，第一掺杂层和第二掺杂层背离衬底的一侧均层叠设置有导电层；对掩膜层进行图形工艺，以在掩膜层中形成形状与电镀种子图案对应的图形开槽，使电镀种子图案暴露在外；通过电镀工艺在图形开槽中形成金属电极。本发明方案避免了去除电镀种子图案时药液对导电层的损伤以及产生的有机废液，从而在避免损伤导电层、简化光伏电池制作工艺的同

CN116387404A

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CN116387404A权利要求书1/1页

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1.一种光伏电池的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在电池基体的两侧表面形成电镀种子图案，所述电池基体包括衬底、第一掺杂层和第二掺杂层，所述第一掺杂层与所述第二掺杂层的掺杂极性相异且分别层叠设置于所述衬底的两侧，所述第一掺杂层和所述第二掺杂层背离所述衬底的一侧均层叠设置有导电层；

在所述电池基体两侧的所述导电层以及对应的所述电镀种子图案上形成掩膜层；

对所述掩膜层进行图形工艺，以在所述掩膜层中形成形状与所述电镀种子图案对应的图形开槽，使所述电镀种子图案暴露在外；

通过电镀工艺在所述图形开槽中形成金属电极。

2.根据权利要求1所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述掩膜层的材质为无机材料。

3.根据权利要求2所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述掩膜层的材质包括硅的氧化物、硅的氮氧化物与硅的氮化物中的至少一者。

4.根据权利要求3所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述在所述电池基体两侧的所述导电层以及对应的所述电镀种子图案上形成掩膜层，包括：

在所述导电层以及对应的所述电镀种子图案上形成第一掩膜层；

在所述第一掩膜层上形成第二掩膜层；

其中，所述第一掩膜层的材质为硅的氧化物或硅的氮氧化物，所述第二掩膜层的材质为硅的氮化物。

5.根据权利要求4所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述第一掩膜层的厚度为5nm-50nm,所述第二掩膜层的厚度为30nm-80nm。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述在电池基体的两侧表面形成电镀种子图案，包括：通过丝网印刷在所述电池基体的两侧表面形成电镀种子图形，并烘干所述电镀种子图形，得到所述电镀种子图案。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述电镀种子图案的高度为1μm-10μm,所述电镀种子图案的宽度为5μm-30μm。

8.根据权利要求1至4中任意一项所述的光伏电池的制作方法，其特征在于，所述光伏电池的制作方法还包括：

在所述金属电极背离所述衬底的一侧形成保护层，所述保护层的材质为银或锡。

9.一种光伏电池，所述光伏电池包括衬底、叠设于所述衬底两侧的第一掺杂层和第二掺杂层，以及分别叠设于所述第一掺杂层和所述第二掺杂层背离所述衬底一侧的导电层，其特征在于，所述电池基体两侧的所述导电层上还形成有掩膜层，所述掩膜层中形成有图形开槽，所述图形开槽中形成有电镀种子图案和金属电极，所述电镀种子图案和所述金属电极的形状均与所述图形开槽对应，且所述电镀种子图案位于所述金属电极与所