半导体器件 第18-5部分：半导体生物传感器 不同入射角下无透镜CMOS光子阵列传感器封装模块的光响应特性的评估方法.docx

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《半导体器件第18-5部分：半导体生物传感器不同入射角下无透镜CMOS光子阵列传感器封装模块的光响应特性的评估方法》标准立项与发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheStandardizationProject:Semiconductordevices–Part18-5:Semiconductorbio-sensors–EvaluationmethodofopticalresponsecharacteristicsforlenslessCMOSphotonicarraysensorpackagemodulesunderdifferentincidentangles

摘要

随着生命科学、精准医疗及体外诊断技术的飞速发展，生物传感器作为核心检测工具，其市场规模持续扩大，技术创新日新月异。其中，基于无透镜CMOS光子阵列的半导体生物传感器，以其微型化、低成本、高通量及动态三维观测能力，正在颠覆传统显微成像技术，在细胞分析、早期疾病筛查、药物研发等领域展现出巨大应用潜力。然而，该新兴技术的产业化进程面临缺乏统一性能评估标准的挑战，尤其是其核心部件——无透镜CMOS光子阵列传感器封装模块的光学响应特性，直接决定了最终成像与分析结果的准确性与可靠性。本报告旨在阐述《半导体器件第18-5部分：半导体生物传感器不同入射角下无透镜CMOS光子阵列传感器封装模块的光响应特性的评估方法》标准立项的背景、目的与核心内容。报告指出，该标准的制定将填补国内在该领域的技术标准空白，通过规范化的测试装置、流程与方法，为产品的研发设计、生产制造、质量检验与性能比对提供科学、统一的依据。此举不仅有助于提升我国相关产品的技术一致性与市场竞争力，更能引导产业链健康有序发展，加速无透镜成像技术在生物医学领域的规模化应用。本标准的推进，是我国在高端生物传感与半导体交叉领域掌握标准话语权的重要一步。

关键词：半导体生物传感器；无透镜成像；CMOS光子阵列；光响应特性；入射角；评估方法；标准化；封装模块

Keywords:SemiconductorBio-sensor;LenslessImaging;CMOSPhotonicArray;OpticalResponseCharacteristics;IncidentAngle;EvaluationMethod;Standardization;PackageModule

正文

一、立项背景与目的意义

生物传感器是集成生物识别元件与物理化学换能器，用于高特异性检测生物分子、细胞、微生物等靶标物质的精密装置。根据市场研究数据，2021年全球生物传感器市场规模已达约1387.47亿元人民币，中国市场规模亦突破106.28亿元人民币，呈现出强劲的增长态势。在这一广阔市场中，基于无透镜CMOS光子阵列的半导体生物传感器作为一种革命性技术，正受到学术界与产业界的极大关注。

与传统光学显微镜依赖复杂透镜组进行放大成像的原理不同，无透镜CMOS光子阵列传感器直接将被测样本产生的衍射或荧光图案记录在高密度的数字图像传感器阵列上，随后通过计算成像算法重构出样本信息。这种技术路径带来了颠覆性优势：它彻底摒弃了精密光学透镜，使得设备体积可缩小至传统显微镜的0.8%，成本降低至1/10，同时能够实现大视场、高分辨率的动态三维观测，极大地拓展了其在床边诊断、远程医疗、高通量药物筛选等场景的应用潜力，市场前景预估可达传统显微镜的200倍。

目前，该技术已在全球范围内形成研发与产业化热潮。国际上，如美国加州大学洛杉矶分校、康涅狄格大学等顶尖研究机构已推出样机并致力于产业化。韩国SOL公司、比利时imec公司等已推出商用化的细胞计数仪或无透镜显微镜产品。在国内，浙江大学、上海交通大学、南京理工大学等高校进行了深入的基础研究，而南京威派视半导体技术有限公司、宁波永新光学有限公司、江丰生物信息技术（南京）有限公司等一批高科技企业已成功研发出细胞分析仪、活细胞动态培养监测系统等产品，整体发展势头迅猛，部分技术处于国际领先地位。

然而，产业的蓬勃发展也暴露出标准缺失的问题。无透镜CMOS光子阵列传感器的光学响应特性，特别是其对不同角度入射光的响应均匀性与一致性，是影响成像质量、计算重构精度乃至最终检测结果可靠性的最关键因素之一。目前，国内尚无针对此类传感器封装模块光响应特性的评估标准，导致不同厂商、不同批次产品性能参差不齐，缺乏统一的性能评价与质量管控基准，这已成为制约产业进一步规模化、高端化发展的瓶颈。

因此，制定《半导体器件第18-5部分：半导体生物传感器不同入射角下无透镜CMOS光子阵列传感器封装模块的光