CN117099030A 光波导的制作方法及光波导 （住友电气工业株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117099030A(43)申请公布日2023.11.21

(21)申请号202280025195.8

(22)申请日2022.05.27

(30)优先权数据

2021-0918262021.05.31JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2023.09.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0217762022.05.27

(87)PCT国际申请的公布数据

W02022/255261JA2022.12.08

(71)申请人住友电气工业株式会社地址日本大阪

(72)发明人中西哲也塩崎学长能重博荒生肇

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240

专利代理师李丹

(51)Int.CI.

GO2B6/13(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图10页

(54)发明名称

光波导的制作方法及光波导

(57)摘要

CN117069030AD2一实施方式所涉及的光波导的制作方法是对玻璃照射飞秒激光而形成光波导的光波导的制作方法。光波导的制作方法具备：第一工序，一边使玻璃和飞秒激光的聚光位置相对移动，一边以300(fs)以下的脉冲宽度、且700(kHz)以下的重复频率对玻璃照射飞秒激光；以及第二工序，以300(fs)以下的脉冲宽度、且比700(kHz)高

CN117069030A

D2

CN117099030A权利要求书1/2页

2

1.一种光波导的制作方法，其特征在于，是对玻璃照射飞秒激光而形成光波导的光波导的制作方法，所述制作方法具备：

第一工序，一边使所述玻璃和所述飞秒激光的聚光位置相对移动，一边以300(fs)以下的脉冲宽度、且700(kHz)以下的重复频率对所述玻璃照射飞秒激光；以及

第二工序，以300(fs)以下的脉冲宽度、且比700(kHz)高的重复频率对折射率上升部照射飞秒激光。

2.根据权利要求1所述的光波导的制作方法，其特征在于，

在所述第一工序中照射的所述飞秒激光的脉冲峰值能量E1、在所述第二工序中照射的所述飞秒激光的脉冲能量E2满足：

E1E2、以及E2(E1/100)。

3.根据权利要求1或2所述的光波导的制作方法，其特征在于，

所述第二工序中的从所述飞秒激光向所述玻璃的入射位置到聚光位置的距离比所述第一工序中的从所述飞秒激光向所述玻璃的入射位置到聚光位置的距离大。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光波导的制作方法，其特征在于，

在所述第一工序中，以多个相互不同的空间周期对所述玻璃照射所述飞秒激光而形成所述折射率上升部。

5.一种光波导，其特征在于，在由具有均匀的组成的玻璃构成的基板中具有所述玻璃的密度变化的部分即折射率变化部、且所述折射率变化部在所述基板中延伸，

所述折射率变化部包括波导部，所述波导部具有截面积S,所述波导部的折射率比所述基板的折射率大所述基板的折射率的0.01%以上，

(S/π)1/2的所述折射率变化部延伸的方向即长度方向上的标准偏差σR与由式(1)[数学式1]

···(1)

给出的重心坐标G(D2,D1)的所述长度方向上的标准偏差σG之和σ满足

σ≤0.12μm。

6.一种光波导，其特征在于，在由具有均匀的组成的玻璃构成的基板中具有所述玻璃的密度变化的部分即折射率变化部、且所述折射率变化部在所述基板中延伸，

所述折射率变化部包括波导部，所述波导部具有截面积S,所述波导部的折射率比所述基板的折射率大所述基板的折射率的0.01%以上，

(S/π)1/2的所述折射率变化部延伸的方向即长度方向上的标准偏差σR与由式(1)

[数学式1]

给出的重心坐标G(D2,D1)的所述长度方向上的标准偏差σG之和σ、以及所述波导部的相对折射率之差的与所述长度方向垂直的截面内的平均值△的所述长度方向上的标准偏差σ△满足

[数学式2]

CN117099030A权利要求书2/2页

3

0.1×((σ/0.13745)2+(σ△/0.00677)2)0.1[dB/cm]。

7.一种光波导，其特征在于，在由具有均匀的组成的玻璃构成的基板中具有所述玻璃的密度变化的部分即折射率变化部、且所述