《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》.pdfVIP

ICS31.080.01

CCSL97

T

团体标准

T/TMAC×××—2026

中束流离子注入机能量精度控制技术规范

Technicalspecificationforenergyprecisioncontrolof

medium-beamionimplanter

（征求意见稿）

××××-××-××发布××××-××-××实施

中国技术市场协会发布

T/TMAC×××—2026

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4工作要求1

4.1环境要求1

4.2设备要求1

5功能单元1

6技术要求2

7试验方法2

I

T/TMACXXX—2026

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国技术市场协会提出并归口。

本文件起草单位：合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)、北京中研博采技术服

务有限公司、北京六只猫创意科技有限公司、北京彬诚科技有限公司、北京骏宇汽车有限公司等单位。

本文件主要起草人：梁立振、乐志斌、夏卫彬、杨笛、朱军等。

II

T/TMACXXX—2026

中束流离子注入机能量精度控制技术规范

1范围

本文件规定了中束流离子注入机能量精度控制的工作要求、功能单元、技术要求和试验方法等内容。

本文件适用于中束流离子注入机的设计、制造、检测、验收。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T15862离子注入机通用规范

3术语和定义

GB/T15862界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

中束流离子注入机medium-beamionimplanter

束流强度1mA～30mA，能量范围5keV～500keV，用于半导体掺杂的离子注入设备。

3.2

能量精度energyprecision

实际注入能量与设定能量之间的相对偏差。

4工作要求

4.1环境要求

环境要求应符合下列规定：

a）温度：22℃±1℃

b）相对湿度：40%～60%

c）洁净度：ISO5级

d）振动：不大于2µm(5Hz～500Hz)

4.2设备要求

设备要求应符合表1规定。

表1设备要求

设备关键指标