CN116297443A 一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式voc气体传感器及其制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN116297443A(43)申请公布日2023.06.23

(21)申请号202310034723.2

(22)申请日2023.01.10

(71)申请人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市栖霞区文苑路9

号

(72)发明人秦兴才梁银学光金凤汪联辉

(74)专利代理机构南京苏科专利代理有限责任公司32102

专利代理师姚姣阳

(51)Int.CI.

GO1N21/84(2006.01)

GO1N21/01(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图6页

(54)发明名称

一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器及其制作方法

(57)摘要

CN116297443A本发明提出了一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器及其制作方法，该方法包括以下步骤：步骤一、制作悬臂梁，所述悬臂梁包括支撑层、粘结层以及功能层；步骤二、制作传感器腔室；步骤三、调整激光器与定焦相机，建立检测光路；步骤四、连接气路，使用微型气泵将待测气体从样品袋中泵出，送入传感器腔室；以及步骤五、搭建传感器检测线路进行检测，检测线路上连接湿度传感器、电源、数据传输线、气体采样袋、气泵、计算机等，其中湿度计、流量计、摄像头都由电脑端自编程序统一、实时读取。本发明利用简单的、低成本的制作方法即可获得低成本、便携式、具有较好的湿度抗性的、高灵敏度的基于聚

CN116297443A

相机

●苯系物Cu

Tape

PEfilm

CN116297443A权利要求书1/2页

2

1.一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、制作悬臂梁，所述悬臂梁包括支撑层、粘结层以及功能层；

步骤二、制作传感器腔室；

步骤三、调整激光器与定焦相机，建立检测光路；

步骤四、连接气路，使用微型气泵将待测气体从样品袋中泵出，送入传感器腔室；以及

步骤五、搭建传感器检测线路进行检测，检测线路上连接湿度传感器、电源、数据传输线、气体采样袋、气泵、计算机，并由基于Matlab的自编程序代码统一控制、读取、处理。

2.根据权利要求1所述的基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器的制作方法，其特征在于：在所述步骤一中，所述悬臂梁的一端作为固定端，伸出的一端作为自由端；支撑层，以6μm铜箔为原材料；粘接层，以5μm双面胶为原材料；功能层，以10μm聚乙烯薄膜(PE)为原材料；支撑层和功能层分别位于上表面和下表面，中间层为粘接层，将功能层和支撑层粘接到一块；先将铜箔贴敷于双面胶的一面，再将PE膜贴敷于双面胶的另一面，然后将其夹在多层的A4纸或者称量纸之间，送入辊压机进行多次辊压，使得三层材料紧密的贴合在一起；再使用小剪刀将其剪为10mm长、1mm宽的悬臂梁；将剪好的悬臂梁，如同前述的方法送入辊压机多次辊压，使悬臂梁三层紧密贴合、保持水平无明显弯曲。

3.根据权利要求2所述的基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器的制作方法，其特征在于：在所述步骤二中，使用激光切割机加工传感器腔室并使用螺丝和弹性不锈钢片组装起来，所述传感器腔室分为悬臂梁固定台和带有气体进出口的T型气室；步骤一中的悬臂梁水平固定于所述悬臂梁腔室的固定台上。

4.根据权利要求1所述的基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器的制作方法，其特征在于：在所述步骤三中，将激光笔式的小型激光器利用万向轴固定于光学面包板，调节其位置、角度，使其最小的光斑以45度的角度射向悬臂梁自由端的顶端位置，调整激光亮度使其在铜基底上呈现比较规则、亮度合适的光斑；用万向轴调整处于悬臂梁另一端的定焦相机，在45度方向上，对铜基底上的激光光斑进行清晰成像，并再次调节激光亮度使相机端的激光光斑呈现规则的、尽量小的光斑；定焦相机的成像在电脑端呈现，实时成像显示激光光斑。

5.根据权利要求1所述的基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器的制作方法，其特征在于：在所述步骤五中，所述传感器经USB端口连入电脑端，其中湿度计、流量计使用485信号传输，实时呈现气体湿度、电子流量计用于检测气体流速；所述气样采样袋主要用于装入目标气体与对照气体；所述气泵用于将目标气体从所述气体采样袋中导入气路；所述计算机使用Matlab软件和自编程序代码处理所述相机、湿度计、流量计获取