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SICC激光器样品室双单色器检测器记录仪计算机前置单色器第三单色器色散型喇曼光谱仪的结构示意图第31页，共43页。分析仪器简介埃文斯公司详解演示文稿第1页，共43页。优选分析仪器简介埃文斯公司第2页，共43页。SICC分析方法名称简称主要用途电子探针谱仪EPMA分析表层成分；研究各种元素在表层的分布；X射线荧光光谱仪XRF分析表层成分；研究各种元素在表层的分布俄歇电子能谱AES分析表面成分；研究各种元素在表面的分布X射线光电子能谱XPS分析表面成分；研究表面吸附和表面电子结构离子散射谱ISS分析表面成分；尤其适合研究表面偏析和吸附次级离子质谱SIMS分析表面成分；可研究化合物组分及分子结构红外吸收谱IR分析表面成分；研究表面原子振动拉曼散射谱RAMAN分析表面成分；研究表面原子振动紫外光电子谱UPS分析表面成分；更适合于研究价电子状态角分解光电子谱ARPES分析表面成分；研究表面吸附原子的电子结构辉光放电质谱法GDMS分析表层成分；深度分析定性定量功能；常用表面（层）成分分析谱仪及用途第3页，共43页。SICCEAG各类材料分析技术汇总第4页，共43页。SICC现就EAG公司的讲解与介绍着重说明几种分析仪器第5页，共43页。SICCGD-MS(GlowDischargeMassSpectrometry)辉光放电质谱法GD-MS原理：将具有平整表面的被测样品作为辉光放电的阴极，样品在直流或射频或脉冲辉光放电装置中产生阴极溅射，被溅射的样品原子离开样品表面扩散到等离子体中，通过各元素质荷比和响应信号的强弱，对被分析元素进行定性和定量分析的一种分析方法。GD-MS构成：离子源、质量分析器、检测系统第6页，共43页。SICCGD-MS原理示意图第7页，共43页。SICC上图为一个简单的辉光放电装置。放电池中通入压力约10~1000pa的惰性气体（氩气），阴极和阳极之间施加一个电场。当达到足够高的电压时，惰性气体被击穿电离。电离产生的大量电子和正离子在电场作用下分别向相反方向加速，大量电子与气体原子的碰撞过程辐射出特征的辉光在放电池中形成“负辉区”。正离子则撞击阴极（样品）表面通过动能传递使阴极发生溅射。阴极溅射的产物为阴极材料的原子、原子团，也会产生二次离子和二次电子。阴极的溅射过程正是样品原子的产生途径，也是样品可进行深度分析的理论基础。在辉光放电形成的众多区域中，有两个对样品分析重要的区域，分别是“负辉区”和“阴极暗区”。阴极暗区为一靠近阴极表面的薄层区域，有较高的正离子密度，整个辉光放电的电压降几乎全部加在这个区域。负辉区一般占有辉光放电的大部分容积，几乎是一个无场的区域，电子承担着传导电流的作用。因此溅射产生的二次离子一般会被拉回到电极表面形成沉积而很难通过阴极暗区，而中性的原子则会通过扩散进入负辉区被激发或离子化，当然也可能在频繁的碰撞过程中返回，这是辉光放电的一个明显的特点。辉光放电源具有能产生固体样品中具有代表性组成的原子，同时具有产生这些原子的激发态和离子态的能力。因此辉光放电既可作为光源也可作为离子源被应用到固态样品的含量和深度分析中。第8页，共43页。SICCGD-MS定量方法离子束比定量和相对灵敏度因子（RSF）第9页，共43页。SICCGD-MS分析特性*全元素搜索分析*可同时检测元素周期表中绝大部分元素*检测限从sub-ppm到ppb*可直接分析各种形态的固体样品*避免了制样污染（相比于湿法制样）*几乎不依赖于标样*较少的取样量（相比于ICP-MS）*可分析杂质分布第10页，共43页。SICCGDMS与其它仪器分析方法比较第11页，共43页。SICCGD-MS的优缺点优点全元素分析，一次扫描几乎可以覆盖元素周期表所有元素元素搜索分析，检测成本低很好的探测极限不足H，C，O，N元素的探测极限较差不使用标样的定量技术，定量误差较大第12页，共43页。SICCSIMS(secondaryionmassspectroscopy)二次离子质谱仪SIMS原理:在SIMS分析中，样品由氧（O2+）或者铯(Cs+)源的聚焦一次离子束溅射。在溅射过程中形成的二次离子被加速使其脱离样品表面。二次离子由静止分析器进行能量分离和由电磁质量分析器基于质荷比进行质量分离。便可知道表面的成份第13页，共43页。SICCSIMS(二次离子质谱系统)结构示意图离子