CN114660649B 一种金刚石探测器及其制作方法 （宁波材料所杭州湾研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114660649B(45)授权公告日2025.04.18

(21)申请号202011543314.8

(22)申请日2020.12.23

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114660649A

(43)申请公布日2022.06.24

(73)专利权人宁波材料所杭州湾研究院

地址315336浙江省宁波市杭州湾新区众

创园众创一路

专利权人中国科学院宁波材料技术与工程研究所

(51)Int.CI.

G01T1/24(2006.01)

(56)对比文件

CH514851A,1971.10.31

CN209117880U,2019.07.16审查员张珊珊

(72)发明人江南林正得袁其龙邱梦婷

戴丹

(74)专利代理机构北京元周律知识产权代理有

限公司11540专利代理师校丽丽

权利要求书2页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种金刚石探测器及其制作方法

(57)摘要

CN114690649B本发明公开了一种金刚石探测器及其制作方法，属于辐射探测技术领域，能够解决现有辐射探测器灵敏度较低、耐辐射强度较差以及服役寿命较短的问题。所述探测器包括：安装电路板，安装电路板上设置有第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘和电路结构；探测元件，探测元件包括金刚石片、以及设置在金刚石片相对表面上的第一电极和第二电极；第一电极焊接在第一焊盘上，第二电极与第二焊盘连接；固定盖板，设置在安装电路板靠近探测元件的一侧；固定盖板上开设有辐射窗口；电气接头，焊接在第三焊盘上、且与探测元件电连接；电气接头用于连接源表；源表用

CN114690649B

器。

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CN114660649B权利要求书1/2页

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1.一种金刚石探测器，其特征在于，所述探测器包括：

安装电路板，所述安装电路板上设置有第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘、以及与所述第一焊盘、所述第二焊盘和所述第三焊盘均连接的电路结构；

探测元件，所述探测元件包括金刚石片、以及设置在所述金刚石片相对表面上的第一电极和第二电极；所述第一电极焊接在所述第一焊盘上，所述第二电极与所述第二焊盘连

接；

固定盖板，设置在所述安装电路板靠近所述探测元件的一侧，用于封装所述安装电路板上的元器件；所述固定盖板上开设有辐射窗口，所述辐射窗口与所述探测元件位置对应、且尺寸相适应；

电气接头，焊接在所述第三焊盘上、且与所述探测元件电连接；所述电气接头用于连接源表；所述源表用于通过所述电气接头向所述探测元件和所述电路结构供电、并测量所述探测元件上的信号；

所述探测器还包括设置在所述安装电路板与所述固定盖板之间的中间限制板；所述中间限制板上开设有避让口和避让通道；

所述避让口用于避让所述探测元件；所述避让通道用于避让所述电气接头和所述电路结构；

所述安装电路板、所述中间限制板和所述固定盖板的正反面均设置有金属层。

2.根据权利要求1所述的金刚石探测器，其特征在于，所述第二电极与所述第二焊盘通过引线键合的方式连接。

3.根据权利要求1所述的金刚石探测器，其特征在于，所述安装电路板、所述中间限制板和所述固定盖板上均设置有固定孔；

所述探测器还包括紧固件，所述紧固件穿过所述固定孔将所述安装电路板、所述中间限制板和所述固定盖板固定。

4.根据权利要求1所述的金刚石探测器，其特征在于，所述安装电路板、所述中间限制板和所述固定盖板上均布设有电镀通孔。

5.根据权利要求1所述的金刚石探测器，其特征在于，所述第一焊盘、所述第二焊盘和所述第三焊盘上均设置有金层。

6.一种应用于权利要求1至5中任一项所述的金刚石探测器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

在金刚石片的相对两个表面上分别镀设第一电极和第二电极，形成探测元件；

将探测元件的第一电极固定在安装电路板的第一焊盘上，将第二电极连接在安装电路板的第二焊盘上，并将电气接头焊接在安装电路板的第三焊盘上；

在安装电路板上依次放置中间限制板和固定盖板；

通过紧固件将安装电路板、中间限制板和固定盖板固定连接。

7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，在金刚石片的相对两个表面上分别镀设第一电极和第二电极之前，所述制作方法还包括：

利用浓硫酸和过氧化氢的混合溶液对金刚石片进行浸泡清洗；

利用丙酮、酒精以及去离子水对金刚石片进行再次清洗；

利用氮气对金刚石片进行干燥处理。