CN114628426A 一种平板探测器及其制作方法 （北京京东方光电科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114628426A

(43)申请公布日2022.06.14

(21)申请号202210239229.5

(22)申请日2022.03.11

(71)申请人北京京东方光电科技有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区西环中路8号

申请人京东方科技集团股份有限公司

(72)发明人张敬书徐帅赵斌杜小倩

陈超范路遥吴俊宇赵镇乾张倩敏

(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291

专利代理师王迪

(51)Int.CI.

HO1L27/146(2006.01)

权利要求书3页说明书10页附图14页

(54)发明名称

一种平板探测器及其制作方法

5010AA(57)摘要

5010

AA

CN114628426A驱动电路驱动电路驱动电路驱动电路驱动电路驱动电路驱动电路kl4050k23020驱动电路本发明公开了一种平板探测器及其制作方法，用以解决现有技术中存在的大尺寸平板探测器的成像效果较差的技术问题，该平板探测器包括：衬底基板，衬底基板被分割为多个检测区域；呈阵列排布的多个光电检测器，多个光电检测器分布在多个检测区域内；分别与各光电检测器电连接的多条扫描线和多条数据线，扫描线和数据线在多个检测区域被分割对应的位置断开设置；位于扫描线所在层和数据线所在层背离衬底基板一侧的保护层，保护层覆盖扫描线、数据线、以及扫描线和数据线断开的位置，并在扫描线和数据线断开的位置，与扫描线和数据线同层设置；对应各检测区域的多个驱动电路，驱动电路与对应的检测区域内的光电检测器连接的扫描线和数据线电连接。

CN114628426A

驱动电路

驱动电路

驱动电路

驱动电路

驱动电路

驱动电路

驱动电路

kl

40

50

k2

30

20

驱动电路

CN114628426A权利要求书1/3页

2

1.一种平板探测器，其特征在于，包括：

衬底基板，所述衬底基板被分割为多个检测区域；

呈阵列排布的多个光电检测器，所述多个光电检测器分布在所述多个检测区域内；

分别与各所述光电检测器电连接的多条扫描线和多条数据线，所述扫描线和所述数据线在所述多个检测区域被分割的位置断开设置；

位于所述扫描线所在层和所述数据线所在层背离所述衬底基板一侧的保护层，所述保护层覆盖所述扫描线、数据线、以及所述扫描线和所述数据线断开的位置，并在所述扫描线和所述数据线断开的位置，与所述扫描线和所述数据线同层设置；

对应各所述检测区域的多个驱动电路，所述驱动电路与对应的检测区域内的光电检测器连接的扫描线和数据线电连接。

2.如权利要求1所述的平板探测器，其特征在于，还包括：位于所述扫描线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层，以及位于所述数据线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层；

各所述绝缘层具有覆盖所述扫描线和所述数据线断开的位置的通孔。

3.如权利要求2所述的平板探测器，其特征在于，沿着所述衬底基板指向所述保护层的方向，各所述绝缘层的通孔逐层缩小。

4.如权利要求2所述的平板探测器，其特征在于，还包括：

薄膜晶体管，所述薄膜晶体管的栅极与对应的扫描线电连接，所述薄膜晶体管的第一极与对应的数据线电连接，所述薄膜晶体管的第二极与对应的光电检测器电连接；

所述薄膜晶体管的栅极与所述扫描线同层设置，所述薄膜晶体管的第一极和第二极分别均与所述数据线同层设置。

5.如权利要求4所述的平板探测器，其特征在于，位于所述扫描线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层具体包括：栅绝缘层、第一绝缘层、第二绝缘层；

位于所述数据线所在层和所述保护层之间的至少一层绝缘层具体包括：所述第一绝缘层和所述第二绝缘层。

6.如权利要求2-5任一项所述的平板探测器，其特征在于，所述扫描线和所述数据线断开位置的断口的长度小于所述至少一层绝缘层中最底层绝缘层的通孔的内径。

7.如权利要求1-5任一项所述的平板探测器，其特征在于，所述扫描线和所述数据线断开位置的断口的长度小于一个光电检测器对应像素的长度。

8.一种平板探测器的制作方法，其特征在于，包括：

提供一衬底基板，所述衬底基板被分割为多个检测区域；

在所述衬底基板上形成原始扫描线和原始数据线，所述原始扫描线和所述原始数据线分别穿过与其相交的所述多个检测区域被分割的位置；

在所述衬底基板上形成