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2026年半导体制造工艺国产化技术突破评估报告.docx

2026年半导体制造工艺国产化技术突破评估报告.docx

    2026年半导体制造工艺国产化技术突破评估报告

    一、2026年半导体制造工艺国产化技术突破评估报告

    1.1技术背景

    1.2技术突破

    1.2.1先进制程技术

    1.2.2关键设备国产化

    1.2.3材料研发与应用

    1.3技术突破的意义

    1.4技术突破面临的挑战

    二、半导体制造工艺国产化技术突破的关键领域

    2.1先进制程技术研发

    2.1.1技术路径探索

    2.1.2研发投入与成果

    2.2关键设备国产化

    2.2.1设备研发与创新

    2.2.2产业链协同

    2.3半导体材料研发与应用

    2.3.1材料研发突破

    2.3.2应用推广与产业链协同

    2.4人才培养与引进

    2.4.1人才

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