CN114394818A 一种大长径比ito管状靶材的制备方法及制作模具 （江苏东玖光电科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114394818A

(43)申请公布日2022.04.26

(21)申请号202210124957.1

(22)申请日2022.02.10

(71)申请人江苏东玖光电科技有限公司

地址221200江苏省徐州市睢宁县双沟镇

空港经济开发区临空大道与安澜大道交叉口

(72)发明人孔伟华

(74)专利代理机构北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙)11738

代理人邓凤姿

(51)Int.CI.

C04B35/01(2006.01)

C23CC23C

14/34(2006.01)

14/35(2006.01)

C04B35/622(2006.01)

C04B35/638(2006.01)

C23C14/08(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具

(57)摘要

CN114394818A本发明公开了一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具，涉及ITO管状靶材制备方法技术领域，包括以下步骤：步骤一，将氧化铟粉末和氧化锡粉末按照重量百分比90:10的方式进行均匀混合；步骤二，将混合后的粉末进行焙烧，形成形成ITO混合粉末；通过带有锥度的钢制内芯，使得ITO管状素坯上下端内径具有自然锥度，可以降低烧结过程因ITO管状素坯与承烧板的摩擦产生的由下端至上端收缩率不一致而导致的上下端内径偏差，同时应用与ITO管状素坯不发生反应的高圆度氧化锆球作为承烧板，可以利用氧化锆球的相对自由滑动或错动来减少ITO管状

CN114394818A

CN114394818A权利要求书1/1页

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1.一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将氧化铟粉末和氧化锡粉末按照重量百分比90:10的方式进行均匀混合；

步骤二，将混合后的粉末进行焙烧，形成形成ITO混合粉末；

步骤三，将ITO混合粉末以电导率≥10MΩ的去离子水为分散介质，并加入聚丙烯铵做为分散剂、PVA作为粘结剂，并以Φ3-5mm钇稳定氧化锆球作为研磨介质，球磨20-60hr;

步骤四，将经过步骤三处理后的ITO混合粉末进行团化造粒处理，造粒后的ITO粉末振实密度为2.0-3.5g/cm3,水分含量为0.5-2.5%;

步骤五，将团化造粒后的ITO粉末装入ITO管状素坯成型模具中，以300-450MPa进行冷等静压成型，制得中空管状素坯，然后将中空管状素坯放入温度500-1000℃环境中持续10-20hr进行脱脂、脱水处理；

步骤六，将处理后的中空管状素坯于氧气流通气氛中，以1500℃-1650℃保温烧结10-30hr,之后缓慢降温，制得ITO管状靶材，在保温烧结过程中，中空管状素以氧化锆球为承烧板，中空管状素坯垂直摆放氧化锆球上，ITO管状靶材相对密度≥99.5%,长径比大于6,抗弯强度≥130MPa,热膨胀系数(1×10?/℃)≤8.0。

2.根据权利要求1所述的一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化铟粉末的比表面积为15-25m2/g;所述氧化锡粉末的比表面积为10-20m2/g。

3.根据权利要求1所述的一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，步骤二的焙烧温度为1000-1250℃,焙烧时间为1-10hr,气氛为氧气，焙烧后ITO粉末的比表面积为3-8m2/g。

4.根据权利要求1所述的一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，步骤四的团化造粒方式为喷雾造粒、滚动造粒、挤压造粒中的一种或几种的组合。

5.根据权利要求1所述的一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，所述中空管状素坯的相对密度为60-70%。

6.根据权利要求1所述的一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化锆球Φ0.1-2.5mm。

7.根据权利要求1所述的一种大长径比ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，步骤六的烧结环境为常压纯氧气流通气氛，其中0?流量50-300L/min;在升温过程中，室温-1000℃阶段，升温速率为10-200℃/hr,1000℃-1500℃阶段，升温速率为10-120℃/hr;在降温时，降温速率为50-100℃/hr,待至中空管状素坯降温至500℃后，再